基于C/S构架的分布重复精缩机控制系统研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstracts | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·光刻掩模版制作及精缩工艺 | 第11-12页 |
| ·制版技术发展现状 | 第12-14页 |
| ·分布重复精缩机控制系统 | 第14-16页 |
| ·本课题研究实现 | 第16-18页 |
| 第二章 精缩机控制系统关键技术分析 | 第18-26页 |
| ·控制系统概述 | 第18页 |
| ·运动与逻辑控制控制技术 | 第18-21页 |
| ·网络视频技术 | 第21-23页 |
| ·调焦对准技术 | 第23-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第三章 精缩机控制系统总体方案与整体构架 | 第26-30页 |
| ·总体结构设计 | 第26页 |
| ·控制系统硬件构架 | 第26-27页 |
| ·控制系统软件构架 | 第27-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第四章 精缩机控制系统硬件设计 | 第30-40页 |
| ·运动及逻辑控制模块设计 | 第30-36页 |
| ·汞发射谱产生电路 | 第36-38页 |
| ·精缩主机工作台 | 第38-39页 |
| ·实时图象监控系统 | 第39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第五章 精缩机控制系统软件设计 | 第40-60页 |
| ·高精度运动及逻辑控制软件设计 | 第40-50页 |
| ·视频图象采集软件设计 | 第50-54页 |
| ·视频发送与接受及系统远程控制软件设计 | 第54-58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第六章 精缩机调试及实验 | 第60-68页 |
| ·精缩机安装及调试工作 | 第60-64页 |
| ·精缩机工作流程及运行结果 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-68页 |
| 第七章 结论与展望 | 第68-69页 |
| ·结论 | 第68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
