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YBCO带材超导层的溅射生长研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 概述第8-19页
   ·高温超导材料的简介第8-9页
     ·超导体的定义第8页
     ·超导体的基本特征第8页
     ·超导体的性能参数第8-9页
   ·高温超导材料的发展历史第9-11页
   ·高温超导材料的应用前景第11-12页
   ·YBCO 高温超导带材的制备第12-16页
     ·金属基带的选择第12-13页
     ·过渡层的选择第13-14页
     ·YBCO 超导层的制备方法第14-16页
   ·YBCO 高温超导带材的研究现状第16-17页
   ·本论文的研究方案与选题依据第17-19页
第二章 溅射生长原理和薄膜表征方法第19-28页
   ·溅射生长原理第19页
   ·设备简介第19-22页
     ·靶材-双倒筒靶第20-21页
     ·基片转动方式第21-22页
     ·辐射式加热第22页
   ·薄膜的分析与表征方法第22-26页
     ·X 射线衍射仪——XRD第22-23页
     ·原子力显微镜——AFM第23-24页
     ·扫描电镜分析——SEM第24-25页
     ·临界电流密度测试仪第25页
     ·触针式台阶仪第25-26页
   ·本章小结第26-28页
第三章 YYC 过渡层上YBCO 超导薄膜的工艺研究与优化第28-46页
   ·引言第28页
   ·生长温度第28-32页
     ·生长温度对YBCO 薄膜结构的影响第29-31页
     ·生长温度对YBCO 薄膜表面形貌的影响第31-32页
   ·工作气压第32-35页
   ·溅射时间第35-39页
     ·溅射时间对薄膜结构的影响第35-37页
     ·溅射时间对薄膜形貌的影响第37-38页
     ·溅射时间对薄膜电学性能的影响第38-39页
   ·模板层均方根粗糙度第39-42页
   ·超导层面内外取向的优化第42-46页
     ·YYC 过渡层的选取第42-43页
     ·YBCO 超导层的结构优化第43-45页
     ·YBCO 超导层的形貌特征第45页
     ·YBCO 超导层的临界电流密度第45-46页
第四章 YBCO 长带材的研究试制第46-58页
   ·内嵌式台阶卷筒夹具第46-51页
   ·轴向自动进退装置第51-54页
   ·长带材均匀性的研究第54-58页
     ·长带材结构均匀性第55页
     ·长带材膜厚均匀性第55-56页
     ·长带材电学性能的均匀性研究第56-58页
第五章 结论第58-59页
致谢第59-60页
参考文献第60-63页
攻硕期间取得的研究成果第63-64页

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