| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-27页 |
| ·传感器实现的途径 | 第15-16页 |
| ·非集成化实现 | 第15页 |
| ·集成化实现 | 第15-16页 |
| ·混合实现 | 第16页 |
| ·研究背景 | 第16-20页 |
| ·温度传感器的分类 | 第16-19页 |
| ·温度传感器的发展 | 第19页 |
| ·CMOS 集成温度传感器的研究进展 | 第19-20页 |
| ·温度传感器的应用领域 | 第20-21页 |
| ·CMOS 温度传感器的几种设计方法 | 第21-22页 |
| ·国内外CMOS 温度传感器的发展、现状和未来 | 第22-23页 |
| ·本论文的主要工作 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-27页 |
| 第二章 MOSFET 的亚阈值温度模型与 CMOS 工艺中的 BJT 和电阻 | 第27-38页 |
| ·MOS 器件的亚阈值模型 | 第27-29页 |
| ·CMOS 工艺下的双极型晶体管（BJT） | 第29-35页 |
| ·衬底PNP 管V_(EB) 信号 | 第29-32页 |
| ·与绝对温度成正比的电压 | 第32-35页 |
| ·串联电阻 | 第33页 |
| ·电流增益变化 | 第33-34页 |
| ·大注入效应 | 第34页 |
| ·Early 效应 | 第34-35页 |
| ·CMOS 工艺下的电阻 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第三章 CMOS 晶体管的工艺实现 | 第38-61页 |
| ·NMOS | 第38-44页 |
| ·工艺流程 | 第38-42页 |
| ·仿真结果 | 第42-44页 |
| ·PMOS | 第44-48页 |
| ·工艺流程 | 第44-46页 |
| ·仿真结果 | 第46-48页 |
| ·CMOS | 第48-51页 |
| ·工艺流程 | 第48-51页 |
| ·金属反剥离工艺 | 第51-60页 |
| ·实验 | 第54页 |
| ·结果与讨论 | 第54-59页 |
| ·AZ5214E 光刻胶反转的原理 | 第55页 |
| ·工艺条件实验 | 第55-57页 |
| ·实验结果 | 第57-58页 |
| ·光刻胶倒台面的形成 | 第58-59页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
| 第四章 CMOS 模拟集成温度传感器电路设计 | 第61-78页 |
| ·正温度系数电流获取电路原理与设计 | 第61-64页 |
| ·PTAT 电流获取电路设计 | 第61-63页 |
| ·PTAT 电流获取电路工作原理 | 第63-64页 |
| ·电源电压对VOUT的影响 | 第64页 |
| ·运算放大器的设计 | 第64-65页 |
| ·ESD 保护 | 第65-66页 |
| ·启动电路 | 第66-68页 |
| ·误差分析 | 第68-69页 |
| ·模拟仿真结果 | 第69-71页 |
| ·流片测试结果 | 第71-72页 |
| ·电流镜的影响与改善 | 第72-75页 |
| ·基本电流镜 | 第72-74页 |
| ·共源共栅电流镜 | 第74-75页 |
| ·结束语 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 第五章 CMOS 集成温度传感器的曲率校正电路的设计与研制 | 第78-86页 |
| ·基本原理 | 第78-80页 |
| ·曲率校正CMOS 温度传感器电路与仿真结果 | 第80-83页 |
| ·流片测试结果 | 第83-84页 |
| ·结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-86页 |
| 第六章 版图设计 | 第86-99页 |
| ·概述 | 第86页 |
| ·CSMC 流片 | 第86-92页 |
| ·采用的温度模拟信号产生电路 | 第86-87页 |
| ·设计规则 | 第87-88页 |
| ·最小宽度 | 第87-88页 |
| ·最小间距 | 第88页 |
| ·最小包围 | 第88页 |
| ·最小延伸 | 第88页 |
| ·版图设计 | 第88-92页 |
| ·电阻设计 | 第89页 |
| ·匹配器件的对称设计 | 第89-92页 |
| ·萨本栋微机电中心流片 | 第92-98页 |
| ·采用的温度模拟信号产生电路 | 第92-93页 |
| ·设计规则 | 第93-95页 |
| ·版图设计 | 第95-98页 |
| 参考文献 | 第98-99页 |
| 第七章 结论 | 第99-102页 |
| ·总结 | 第99-100页 |
| ·展望 | 第100-102页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表与交流的论文 | 第102-103页 |
| 一、 在国内外期刊上正式发表的文章 | 第102页 |
| 二、 在全国学术会议上发表的文章 | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |