用于微光机械振动传感器的聚合物波导集成光路研究
| 第1章 绪论 | 第1-19页 |
| ·传感器 | 第7-8页 |
| ·传感器的发展 | 第8-9页 |
| ·微传感器 | 第9-12页 |
| ·微型振动传感器 | 第12-18页 |
| ·光纤悬臂梁式振动传感器 | 第13-14页 |
| ·压阻式硅微型加速度传感器 | 第14-15页 |
| ·基于 MEMS技术的微电容式加速度传感器 | 第15-17页 |
| ·SiO_2光微机械振动/加速度传感器 | 第17-18页 |
| ·本论文的意义和主要工作 | 第18-19页 |
| 第2章 振动传感器集成光路结构及工作原理 | 第19-22页 |
| ·传感器结构 | 第19-20页 |
| ·波导集成光路工作原理 | 第20-21页 |
| ·集成光路结构及工艺改进 | 第21页 |
| ·传感器的优点及先进性 | 第21-22页 |
| 第3章 波导集成光路模式特性分析及结构设计 | 第22-33页 |
| ·马卡提里近似解析法 | 第22-29页 |
| ·近似假设条件 | 第23-24页 |
| ·E_(mn)~x模式分析 | 第24-27页 |
| ·E_(mn)~y模式分析 | 第27-29页 |
| ·掩埋矩形波导的模式特性分析 | 第29-30页 |
| ·集成光路输入输出波导结构设计 | 第30-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第4章 动态输入多模干涉耦合器的自镜像特性分析 | 第33-48页 |
| ·多模干涉耦合器的原理 | 第34-39页 |
| ·导模传输分析法 | 第34-37页 |
| ·输入光场分布函数 | 第37-38页 |
| ·多模波导的自镜像效应 | 第38-39页 |
| ·输出光场分布函数 | 第39页 |
| ·动态输入1×2多模干涉耦合器 | 第39-41页 |
| ·理论模拟 | 第41-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第5章 波导集成光路的制备与测试 | 第48-56页 |
| ·结构参数及设计指标 | 第48-50页 |
| ·制备工艺 | 第50-52页 |
| ·材料选择 | 第50页 |
| ·工艺流程 | 第50-52页 |
| ·硅片解理 | 第52页 |
| ·器件测量 | 第52-55页 |
| ·矩形波导端面结构观测 | 第52-53页 |
| ·端面输出光斑测量 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第6章 总结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 附录:攻读硕士期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 摘要 | 第61-64页 |
| Abstract | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
