| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·微型生物传感器的发展现状 | 第8-12页 |
| ·微电极阵列(MEA) | 第8-10页 |
| ·离子敏场效应管(ISFET) | 第10-11页 |
| ·光寻址电位传感器(LAPS) | 第11-12页 |
| ·LAPS的研究现状 | 第12-18页 |
| ·LAPS理论方面的研究 | 第12-13页 |
| ·LAPS器件结构的研究 | 第13-14页 |
| ·LAPS的集成化发展 | 第14-16页 |
| ·阵列化LAPS的研究 | 第16页 |
| ·LAPS测试方法的研究 | 第16-18页 |
| ·本论文的主要工作和意义 | 第18-19页 |
| 第二章 LAPS的工作原理 | 第19-38页 |
| ·LAPS的一般原理 | 第19-21页 |
| ·敏感膜/电解质溶液固-液界面电势的理论分析 | 第21-24页 |
| ·半导体的光学特性和表面电场效应 | 第24-32页 |
| ·半导体的光学特性 | 第24-28页 |
| ·半导体的表面电场效应 | 第28-32页 |
| ·EIS型LAPS的等效电路模型 | 第32-38页 |
| 第三章 LAPS的器件设计与封装 | 第38-43页 |
| ·新结构阵列化LAPS的设计 | 第38-42页 |
| ·阵列化LAPS的发展现状 | 第38页 |
| ·新结构阵列化LAPS芯片的工艺流程 | 第38-42页 |
| ·LAPS的封装 | 第42-43页 |
| 第四章 LAPS的实验测试与分析 | 第43-60页 |
| ·LAPS的测试系统 | 第43-46页 |
| ·硬件系统 | 第43-44页 |
| ·软件设计 | 第44-45页 |
| ·LAPS的I-V特性曲线测试过程 | 第45-46页 |
| ·LAPS的测试原理 | 第46-47页 |
| ·LAPS特性曲线归一化的必要性 | 第46-47页 |
| ·用标准曲线测量溶液的离子浓度 | 第47页 |
| ·LAPS的性能研究 | 第47-57页 |
| ·新结构阵列化LAPS非敏感区域噪声抑制效果的研究 | 第47-50页 |
| ·电极位置变化对测量结果的影响 | 第50-51页 |
| ·光源强度变化对测量结果的影响 | 第51-52页 |
| ·氧化层厚度变化对测量结果的影响 | 第52-56页 |
| ·光源调制频率变化对测量结果的影响 | 第56-57页 |
| ·新结构阵列化LAPS对pH值的测量 | 第57-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-65页 |
| ·总结 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-65页 |
| ·新结构阵列化LAPS的进一步深入研究 | 第61页 |
| ·LAPS与其它传感器兼容集成的研究 | 第61-62页 |
| ·测试系统的改进意见 | 第62页 |
| ·LAPS与测量电路的集成 | 第62-63页 |
| ·等效电路模型的进一步完善 | 第63页 |
| ·LAPS的新封装结构 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 硕士研究生期间的科研成果 | 第69页 |