| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-19页 |
| 第1章 绪论 | 第19-43页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·脉象传感器的分类和研究现状 | 第20-29页 |
| ·脉象传感器的分类 | 第20-21页 |
| ·脉象传感器国内研究现状 | 第21-26页 |
| ·脉象传感器国外研究现状 | 第26-29页 |
| ·MOSFET压力传感器的研究现状 | 第29-36页 |
| ·MOSFET压力传感器的国内研究现状 | 第29-32页 |
| ·MOSFET压力传感器的国外研究现状 | 第32-36页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结研究现状 | 第36-38页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFET脉象传感与检测系统的研究目的和意义 | 第38-41页 |
| ·研究目的 | 第38-39页 |
| ·研究意义 | 第39-41页 |
| ·论文主要研究内容 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第2章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的理论分析与结构设计 | 第43-82页 |
| ·MOSFETs硅脉象传感器的理论模型 | 第43页 |
| ·MOSFETs硅脉象传感器的理论分析 | 第43-48页 |
| ·当外加脉搏压力P=0 | 第44-46页 |
| ·当外加脉搏压力P≠0 | 第46-48页 |
| ·半导体材料压阻效应基本理论 | 第48-56页 |
| ·半导体材料压阻效应 | 第48-50页 |
| ·单晶硅压阻系数 | 第50-56页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器力敏结构设计 | 第56-80页 |
| ·半导体材料选择 | 第56-57页 |
| ·长方形硅膜的应力分析 | 第57-67页 |
| ·长方形硅膜厚度设计 | 第67-70页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFET沟道电阻位置设计 | 第70-74页 |
| ·硅悬臂梁设计 | 第74-80页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器结构模型 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第3章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺 | 第82-95页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺 | 第82-88页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器芯片加工工艺 | 第82-85页 |
| ·激光刻蚀纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs硅悬臂梁 | 第85-88页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构 | 第88-91页 |
| ·硅杯式纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构 | 第89-90页 |
| ·悬臂梁式纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构 | 第90-91页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器电源激励方式 | 第91-93页 |
| ·恒压源供电 | 第92-93页 |
| ·恒流源供电 | 第93页 |
| ·本章小结 | 第93-95页 |
| 第4章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器实验结果与讨论 | 第95-135页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结p-MOSFET特性 | 第95-108页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结p-MOSFET基本结构 | 第95-97页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结p-MOSFET I-V特性 | 第97-98页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结p-MOSFET温度特性 | 第98-108页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器静态特性研究 | 第108-125页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器线性度 | 第110-120页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器重复性 | 第120-122页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器迟滞 | 第122-123页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器准确度 | 第123-124页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器灵敏度 | 第124-125页 |
| ·悬臂梁式纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的测试 | 第125-126页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器温度特性 | 第126-133页 |
| ·本章小结 | 第133-135页 |
| 第5章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统设计与实测结果分析 | 第135-173页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统概述 | 第135-136页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统各功能模块的设计 | 第136-143页 |
| ·信号预处理电路设计 | 第136-139页 |
| ·A/D转换电路设计 | 第139-141页 |
| ·单片机外围电路设计 | 第141-142页 |
| ·通讯接口电路设计 | 第142-143页 |
| ·纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的脉象检测结果 | 第143-147页 |
| ·采用人工神经网络处理脉象检测结果 | 第147-172页 |
| ·人工神经网络 | 第147-150页 |
| ·采用BP神经网络分析脉象检测结果 | 第150-166页 |
| ·采用概率神经网络分析脉象检测结果 | 第166-172页 |
| ·本章小结 | 第172-173页 |
| 结论 | 第173-176页 |
| 主要创新点 | 第176-177页 |
| 参考文献 | 第177-187页 |
| 致谢 | 第187-188页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文 | 第188-189页 |
| 攻读博士学位期间申请发明专利 | 第189页 |
| 攻读博士学位期间科研项目 | 第189-191页 |
| 详细摘要 | 第191-205页 |
