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异质结化学电阻型气敏元件直接构筑及其性能研究

摘要第7-8页
Abstract第8-9页
第一章 绪论第10-20页
    1.1 气体传感器第10-11页
    1.2 气体传感器性能参数第11-12页
    1.3 半导体气体传感器的基本工作原理第12-13页
    1.4 异质结纳米材料气敏传感器的研究现状第13-18页
        1.4.1 单一纯相纳米材料气敏传感器概述第13-16页
        1.4.2 不同半导体异质结气敏传感器研究进展第16-18页
    1.5 本论文的研究内容第18-20页
第二章 实验部分第20-26页
    2.1 实验试剂与生长设备第20-22页
    2.2 表征方法第22-23页
        2.2.1 X射线衍射(XRD)第22页
        2.2.2 场发射扫描电子显微镜(SEM)第22页
        2.2.3 透射电子显微镜(TEM)第22-23页
        2.2.4 X-射线光电子能谱(XPS)第23页
        2.2.5 比表面积与孔隙分析(BET)第23页
    2.3 气敏性能测试系统第23-26页
        2.3.1 WS-60A气敏性能测试系统第23-24页
        2.3.2 CGS-4TPs气敏湿敏测试系统第24-26页
第三章 CuO/ZnO异质PN结核壳纳米棒的气敏性能研究第26-40页
    3.1 引言第26-27页
    3.2 实验部分第27-28页
        3.2.1 ZnO纳米棒在Al_2O_3平板电极上的直接生长第27页
        3.2.2 不同CuO含量的CuO/ZnO纳米棒PN结的构筑第27页
        3.2.3 ZnO、CuO/ZnO纳米棒结构表征及气敏性能测试第27-28页
    3.3 结果与讨论第28-37页
        3.3.1 ZnO、CuO/ZnO纳米棒结构表征第28-31页
        3.3.2 ZnO、CuO/ZnO纳米棒的气敏性能第31-35页
        3.3.3 ZnO纳米棒的气敏机理第35-36页
        3.3.4 PN结改善ZnO纳米棒气敏性能的机理第36-37页
    3.4 本章小结第37-40页
第四章 基于德拜长度优化异质PN结气敏性能研究:以α-Fe_2O_3@NiO(CuO)核壳纳米棒为例第40-58页
    4.1 引言第40-41页
    4.2 实验部分第41-42页
        4.2.1 α-Fe_2O_3纳米棒在Al_2O_3平板电极上的直接生长第41页
        4.2.2 不同壳层厚度α-Fe_2O_3@NiO(CuO)纳米棒PN结的制备第41页
        4.2.3 α-Fe_2O_3、α-Fe_2O_3@NiO(CuO)纳米棒结构表征及气敏性能测试第41-42页
    4.3 结果与讨论第42-57页
        4.3.1 α-Fe_2O_3、α-Fe_2O_3@NiO(CuO)核壳纳米棒结构表征第42-48页
        4.3.2 α-Fe_2O_3、α-Fe_2O_3@NiO(CuO)核壳纳米棒的气敏性能第48-53页
        4.3.3 德拜长度调控壳层厚度改善核壳纳米棒PN结气敏性能的机理第53-57页
    4.4 本章小结第57-58页
第五章 NN异质结气敏性能研究:以α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒为例第58-72页
    5.1 引言第58页
    5.2 实验部分第58-60页
        5.2.1 具有NN结α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒在Al_2O_3平板电极上的直接生长第58-59页
        5.2.2 不同α-Fe_2O_3含量的α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒NN结的制备第59页
        5.2.3 α-Fe_2O_3/ZnO异质结纳米棒结构表征与气敏性能测试第59-60页
    5.3 结果与讨论第60-69页
        5.3.1 湿化学法构筑α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒结构表征第60-62页
        5.3.2 PLD法构筑α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒结构表征第62-65页
        5.3.3 ZnO、α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒的气敏性能第65-68页
        5.3.4 NN异质结结改善ZnO纳米棒气敏性能的机理第68-69页
    5.4 本章小结第69-72页
第六章 结论与展望第72-74页
    6.1 结论第72-73页
    6.2 展望第73-74页
参考文献第74-84页
致谢第84-86页
附录第86-87页

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