摘要 | 第7-8页 |
Abstract | 第8-9页 |
第一章 绪论 | 第10-20页 |
1.1 气体传感器 | 第10-11页 |
1.2 气体传感器性能参数 | 第11-12页 |
1.3 半导体气体传感器的基本工作原理 | 第12-13页 |
1.4 异质结纳米材料气敏传感器的研究现状 | 第13-18页 |
1.4.1 单一纯相纳米材料气敏传感器概述 | 第13-16页 |
1.4.2 不同半导体异质结气敏传感器研究进展 | 第16-18页 |
1.5 本论文的研究内容 | 第18-20页 |
第二章 实验部分 | 第20-26页 |
2.1 实验试剂与生长设备 | 第20-22页 |
2.2 表征方法 | 第22-23页 |
2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第22页 |
2.2.2 场发射扫描电子显微镜(SEM) | 第22页 |
2.2.3 透射电子显微镜(TEM) | 第22-23页 |
2.2.4 X-射线光电子能谱(XPS) | 第23页 |
2.2.5 比表面积与孔隙分析(BET) | 第23页 |
2.3 气敏性能测试系统 | 第23-26页 |
2.3.1 WS-60A气敏性能测试系统 | 第23-24页 |
2.3.2 CGS-4TPs气敏湿敏测试系统 | 第24-26页 |
第三章 CuO/ZnO异质PN结核壳纳米棒的气敏性能研究 | 第26-40页 |
3.1 引言 | 第26-27页 |
3.2 实验部分 | 第27-28页 |
3.2.1 ZnO纳米棒在Al_2O_3平板电极上的直接生长 | 第27页 |
3.2.2 不同CuO含量的CuO/ZnO纳米棒PN结的构筑 | 第27页 |
3.2.3 ZnO、CuO/ZnO纳米棒结构表征及气敏性能测试 | 第27-28页 |
3.3 结果与讨论 | 第28-37页 |
3.3.1 ZnO、CuO/ZnO纳米棒结构表征 | 第28-31页 |
3.3.2 ZnO、CuO/ZnO纳米棒的气敏性能 | 第31-35页 |
3.3.3 ZnO纳米棒的气敏机理 | 第35-36页 |
3.3.4 PN结改善ZnO纳米棒气敏性能的机理 | 第36-37页 |
3.4 本章小结 | 第37-40页 |
第四章 基于德拜长度优化异质PN结气敏性能研究:以α-Fe_2O_3@NiO(CuO)核壳纳米棒为例 | 第40-58页 |
4.1 引言 | 第40-41页 |
4.2 实验部分 | 第41-42页 |
4.2.1 α-Fe_2O_3纳米棒在Al_2O_3平板电极上的直接生长 | 第41页 |
4.2.2 不同壳层厚度α-Fe_2O_3@NiO(CuO)纳米棒PN结的制备 | 第41页 |
4.2.3 α-Fe_2O_3、α-Fe_2O_3@NiO(CuO)纳米棒结构表征及气敏性能测试 | 第41-42页 |
4.3 结果与讨论 | 第42-57页 |
4.3.1 α-Fe_2O_3、α-Fe_2O_3@NiO(CuO)核壳纳米棒结构表征 | 第42-48页 |
4.3.2 α-Fe_2O_3、α-Fe_2O_3@NiO(CuO)核壳纳米棒的气敏性能 | 第48-53页 |
4.3.3 德拜长度调控壳层厚度改善核壳纳米棒PN结气敏性能的机理 | 第53-57页 |
4.4 本章小结 | 第57-58页 |
第五章 NN异质结气敏性能研究:以α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒为例 | 第58-72页 |
5.1 引言 | 第58页 |
5.2 实验部分 | 第58-60页 |
5.2.1 具有NN结α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒在Al_2O_3平板电极上的直接生长 | 第58-59页 |
5.2.2 不同α-Fe_2O_3含量的α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒NN结的制备 | 第59页 |
5.2.3 α-Fe_2O_3/ZnO异质结纳米棒结构表征与气敏性能测试 | 第59-60页 |
5.3 结果与讨论 | 第60-69页 |
5.3.1 湿化学法构筑α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒结构表征 | 第60-62页 |
5.3.2 PLD法构筑α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒结构表征 | 第62-65页 |
5.3.3 ZnO、α-Fe_2O_3/ZnO纳米棒的气敏性能 | 第65-68页 |
5.3.4 NN异质结结改善ZnO纳米棒气敏性能的机理 | 第68-69页 |
5.4 本章小结 | 第69-72页 |
第六章 结论与展望 | 第72-74页 |
6.1 结论 | 第72-73页 |
6.2 展望 | 第73-74页 |
参考文献 | 第74-84页 |
致谢 | 第84-86页 |
附录 | 第86-87页 |