| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题研究目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 激光薄膜损伤及测试系统国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 论文所做的主要工作 | 第11-13页 |
| 第二章 激光薄膜损伤及阈值测试基础理论 | 第13-23页 |
| 2.1 激光薄膜损伤机理 | 第13-16页 |
| 2.1.1 薄膜本征吸收 | 第13页 |
| 2.1.2 雪崩电离 | 第13-14页 |
| 2.1.3 多光子电离 | 第14-15页 |
| 2.1.4 杂质缺陷 | 第15-16页 |
| 2.2 激光薄膜损伤阈值测试方法 | 第16-19页 |
| 2.2.1 激光薄膜损伤阈值的测定方法 | 第17页 |
| 2.2.2 激光薄膜损伤的判定方法 | 第17-19页 |
| 2.3 激光薄膜损伤阈值图像测试方法 | 第19-22页 |
| 2.3.1 Sobel边缘检测算法 | 第20页 |
| 2.3.2 Laplasion边缘检测算法 | 第20-21页 |
| 2.3.3 Canny边缘检测算法 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 激光薄膜损伤阈值测试系统设计与实现 | 第23-46页 |
| 3.1 总体方案设计 | 第23-24页 |
| 3.2 光学系统设计与实现 | 第24-26页 |
| 3.3 激光薄膜测试样本定位单元设计与实现 | 第26-33页 |
| 3.3.1 激光薄膜测试样本定位单元设计 | 第26-27页 |
| 3.3.2 执行部件选择及实现 | 第27-31页 |
| 3.3.3 串行通信接口单元实现 | 第31-32页 |
| 3.3.4 转台控制单元电源设计与实现 | 第32-33页 |
| 3.4 激光能量调整单元设计与实现 | 第33-35页 |
| 3.5 光斑面积测量相机与激光同步触发单元设计与实现 | 第35-39页 |
| 3.5.1 激光二极管脉冲电源外触发控制 | 第35-36页 |
| 3.5.2 CCD相机外触发控制 | 第36-38页 |
| 3.5.3 CCD相机与激光同步触发单元实现 | 第38-39页 |
| 3.6 图像采集与存储单元设计 | 第39-45页 |
| 3.6.1 薄膜损伤图像采集单元设计 | 第40-42页 |
| 3.6.2 图像处理器选择 | 第42页 |
| 3.6.3 SDRAM图像存储单元设计 | 第42-43页 |
| 3.6.4 VGA显示控制单元设计 | 第43-44页 |
| 3.6.5 薄膜损伤信息USB传输单元设计 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 激光薄膜损伤阈值测试系统软件设计与实现 | 第46-68页 |
| 4.1 测试系统软件总体设计 | 第46-47页 |
| 4.2 激光薄膜测试样本定位单元控制软件设计与实现 | 第47-50页 |
| 4.2.1 转台运动控制单元软件设计 | 第47-49页 |
| 4.2.2 运动控制单元协议及运动命令字设计 | 第49-50页 |
| 4.3 激光薄膜损伤图像采集相机配置软件仿真实现 | 第50-52页 |
| 4.4 激光薄膜损伤图像采集相机接口控制软件仿真实现 | 第52-53页 |
| 4.5 薄膜损伤图像处理算法的FPGA设计与实现 | 第53-66页 |
| 4.5.1 OV5640彩色模式图像转化FPGA实现 | 第54页 |
| 4.5.2 薄膜损伤像素数据矩阵化FPGA实现 | 第54-55页 |
| 4.5.3 边缘检测图像处理算法FPGA实现 | 第55-56页 |
| 4.5.4 腐蚀膨胀滤波图像处理算法FPGA实现 | 第56-58页 |
| 4.5.5 薄膜损伤图像处理算法RTL级描述及处理效果 | 第58-59页 |
| 4.5.6 SDRAM与异步FIFO存储器接口设计及时序仿真 | 第59-63页 |
| 4.5.7 FPGA与上位机通信USB接口软件设计与测试 | 第63-66页 |
| 4.6 上位机曲线拟合算法实现 | 第66-67页 |
| 4.7 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 系统测试与结果分析 | 第68-74页 |
| 5.1 系统测试方案设计 | 第68页 |
| 5.2 薄膜损伤测试系统搭建及测试结果分析 | 第68-73页 |
| 5.2.1 薄膜损伤测试系统搭建 | 第68-70页 |
| 5.2.2 测试结果与分析 | 第70-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 总结 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
