| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 ZnO基紫外探测器的研究现状 | 第9-15页 |
| 1.3 ZnO基紫外探测器存在的问题 | 第15页 |
| 1.4 论文选题依据和主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 ZnO基薄膜及其紫外探测器的制备和表征方法 | 第17-21页 |
| 2.1 ZnO基薄膜的制备方法 | 第17-18页 |
| 2.2 ZnO基紫外探测器的制备方法 | 第18页 |
| 2.3 ZnO基薄膜的表征方法 | 第18-20页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析(XRD) | 第19页 |
| 2.3.2 吸收和透过光谱(A-T) | 第19页 |
| 2.3.3 原子力显微镜(AFM) | 第19页 |
| 2.3.4 扫描电子显微镜(SEM) | 第19-20页 |
| 2.4 ZnO基探测器的表征方法 | 第20-21页 |
| 2.4.1 暗电流(I-V) | 第20页 |
| 2.4.2 响应度测试系统 | 第20-21页 |
| 第三章 ZnO/Au/ZnO三明治结构紫外探测器的制备和性能表征 | 第21-37页 |
| 3.1 ZnO/Au/ZnO三明治结构紫外探测器的制备和研究 | 第21-27页 |
| 3.2 叉指间距调控ZnO/Au/ZnO三明治结构紫外探测器性能的研究 | 第27-31页 |
| 3.3 金电极厚度调控ZnO/Au/ZnO三明治结构紫外探测器性能的研究 | 第31-35页 |
| 3.4 小结 | 第35-37页 |
| 第四章 MgZnO/Au/MgZnO三明治结构紫外探测器的制备和性能表征 | 第37-47页 |
| 4.1 MgZnO/Au/MgZnO三明治结构紫外探测器的制备和研究 | 第37-39页 |
| 4.2 基于氧气分压实现对MgZnO/Au/MgZnO三明治结构紫外探测器性能的增强 | 第39-42页 |
| 4.3 基于溅射功率实现对MgZnO/Au/MgZnO三明治结构紫外探测器性能的增强 | 第42-45页 |
| 4.4 小结 | 第45-47页 |
| 第五章 MgZnO/Au/ZnO和ZnO/Au/MgZnO三明治结构双波段紫外探测器的制备和性能表征 | 第47-57页 |
| 5.1 MgZnO/Au/ZnO和ZnO/Au/MgZnO三明治结构紫外探测器的制备和差异性研究 | 第47-50页 |
| 5.2 基于MgZnO薄膜厚度实现对ZnO/Au/MgZnO三明治结构双波段紫外探测器性能的调控 | 第50-55页 |
| 5.3 小结 | 第55-57页 |
| 第六章 结论与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 在学期间学术成果 | 第63-64页 |
