| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 等离子体常用的诊断方法 | 第9-12页 |
| 1.1.1 光谱法 | 第9-10页 |
| 1.1.2 探针法 | 第10-11页 |
| 1.1.3 质谱法 | 第11页 |
| 1.1.4 散射法 | 第11-12页 |
| 1.1.5 微波测量 | 第12页 |
| 1.1.6 全息干涉法 | 第12页 |
| 1.2 微波共振探针诊断及其理论基础 | 第12-18页 |
| 1.2.1 微波探针的传输线方程 | 第14-15页 |
| 1.2.2 传输线的输入阻抗 Zin(z’) | 第15-16页 |
| 1.2.3 传输线的反射系数 | 第16页 |
| 1.2.4 Hairpin 探针测量等离子体参数的原理 | 第16-18页 |
| 1.3 论文研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验装置及探针结构 | 第19-26页 |
| 2.1 大气压射频辉光射流放电装置及诊断装置 | 第19-21页 |
| 2.2 Hairpin 探针的结构 | 第21页 |
| 2.3 Hairpin 探针的优化探究 | 第21-26页 |
| 2.3.1 探针直径对品质因子的影响 | 第23页 |
| 2.3.2 探针长度对品质因子的影响 | 第23-24页 |
| 2.3.3 探针的宽度对于品质因子的影响 | 第24-26页 |
| 第三章 探针诊断中的干扰问题 | 第26-39页 |
| 3.1 仿真实验 | 第27-37页 |
| 3.1.1 Hairpin 探针受到周围不同干扰物影响的仿真 | 第28-33页 |
| 3.1.2 Hairpin 探针加上屏蔽部件后在不同环境下的仿真 | 第33-37页 |
| 3.2 消除干扰的方法探究 | 第37-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 Hairpin 探针在大气压射频辉光射流中的诊断 | 第39-50页 |
| 4.1 实验 | 第39-40页 |
| 4.2 放电功率对大气压射频辉光射流等离子体影响的研究 | 第40-42页 |
| 4.3 气体流量对大气压射频辉光射流的影响 | 第42-45页 |
| 4.3.1 氦气流量对大气压射频辉光射流的影响 | 第42-44页 |
| 4.3.2 氧气流量对大气压射频辉光射流的影响 | 第44-45页 |
| 4.4 大气压射频辉光射流的发射光谱研究 | 第45-48页 |
| 4.5 大气压射频辉光射流的电子密度 | 第48-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 全文总结 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 硕士期间发表的文章 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
