| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 激光加工技术简介 | 第12页 |
| 1.2 超声辅助激光技术加工研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 液流辅助激光加工技术研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 超声液流辅助激光加工研究现状 | 第17-19页 |
| 1.5 本文所做的工作 | 第19-20页 |
| 第二章 加工系统的设计方案 | 第20-29页 |
| 2.1 加工系统总体设计 | 第20页 |
| 2.2 激光加工系统选择 | 第20-21页 |
| 2.3 超声振动系统方案设计 | 第21-24页 |
| 2.4 水射流系统方案设计 | 第24-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 超声振动系统设计 | 第29-36页 |
| 3.1 振板设计 | 第29-30页 |
| 3.2 压电换能器选型 | 第30-31页 |
| 3.3 振动系统的仿真分析 | 第31-34页 |
| 3.4 振幅测试与分析 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 射流理论与流场分析 | 第36-56页 |
| 4.1 射流主要射流特性 | 第36-40页 |
| 4.1.1 射流结构 | 第36-37页 |
| 4.1.2 射流速度 | 第37-39页 |
| 4.1.3 射流打击力 | 第39-40页 |
| 4.2 典型射流模型 | 第40-43页 |
| 4.2.1 喷嘴空化模型 | 第40-41页 |
| 4.2.2 射流湍流模型 | 第41-43页 |
| 4.2.3 射流多项流模型 | 第43页 |
| 4.3 喷嘴内流场分析 | 第43-47页 |
| 4.3.1 喷嘴选型与模型建立 | 第43-44页 |
| 4.3.2 网格划分与边界条件设置 | 第44-45页 |
| 4.3.3 喷嘴针头空化模型结果分析 | 第45-47页 |
| 4.4 喷嘴外流场分析 | 第47-55页 |
| 4.4.1 喷嘴外流场网格划分与边界条件设置 | 第47-48页 |
| 4.4.2 喷嘴初始化参数对射流参数的影响 | 第48-53页 |
| 4.4.3 平板形貌对射流参数的影响 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 加工系统试验研究 | 第56-65页 |
| 5.1 试验系统 | 第56页 |
| 5.2 实验材料 | 第56-57页 |
| 5.2.1 氮化硅 | 第56-57页 |
| 5.2.2 硬质合金 | 第57页 |
| 5.3 氮化硅刻蚀试验 | 第57-61页 |
| 5.3.1 无水条件下激光与超声辅助激光加工氮化硅对比分析 | 第57-58页 |
| 5.3.2 超声辅助与超声水射流辅助激光加工氮化硅对比分析 | 第58-59页 |
| 5.3.3 不同功率下超声辅助激光加工氮化硅对比分析 | 第59-60页 |
| 5.3.4 不同振动平板下超声辅助激光加工氮化硅对比分析 | 第60-61页 |
| 5.4 硬质合金刻蚀试验 | 第61-63页 |
| 5.4.1 无水条件下激光与超声辅助激光加工硬质合金对比分析 | 第61-62页 |
| 5.4.2 无振动条件下不同角度射流辅助激光切割硬质合金对比分析 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第70页 |
