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小型激光直写系统的设计与实现

摘要第5-7页
abstract第7-8页
第一章 绪论第11-20页
    1.1 光刻技术研究背景第11-13页
    1.2 激光直写技术的发展历程第13-18页
    1.3 本文的主要工作及研究意义第18页
    1.4 本论文结构安排第18-20页
第二章 激光直写基本原理第20-25页
    2.1 运动控制原理第20-21页
    2.2 空间中激光传播原理第21-23页
    2.3 自动聚焦原理第23-24页
    2.4 本章小结第24-25页
第三章 激光直写系统的设计与实现第25-42页
    3.1 基于显微镜系统的硬件设计第25-28页
        3.1.1 光束质量对光刻的影响第26-27页
        3.1.2 像散法自动聚焦评测第27-28页
    3.2 基于笼式系统的小型激光直写系统第28-35页
        3.2.1 小型激光直写系统的光路部分第29-34页
        3.2.2 小型激光直写系统的控制部分第34-35页
    3.3 基于LabVIEW的软件设计第35-41页
        3.3.1 FPGA运行程序第35-39页
        3.3.2 计算机运行程序第39-41页
    3.4 本章小结第41-42页
第四章 激光直写系统的调试与刻写实现第42-47页
    4.1 自动聚焦联动测试第42-44页
    4.2 聚焦位置及激光能量的确认第44-46页
    4.3 本章小结第46-47页
第五章 光刻工艺优化与微器件制作第47-56页
    5.1 光刻胶的选择与甩胶工艺优化第47-48页
    5.2 光刻流程与优化第48-50页
    5.3 金属剥离工艺第50-55页
        5.3.1 单层正胶剥离工艺研究第50-52页
        5.3.2 双层胶剥离工艺研究第52-55页
    5.4 微器件的制作第55页
    5.5 本章小结第55-56页
第六章 总结第56-58页
    6.1 全文内容总结第56-57页
    6.2 展望第57-58页
致谢第58-59页
参考文献第59-66页
攻读硕士学位期间取得的成果第66页

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