碳纳米管冷阴极微焦点X射线管的设计与制备
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 X射线简介 | 第10-11页 |
| 1.2 X射线管的发展 | 第11-13页 |
| 1.3 场致发射X射线管 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文的内容和安排 | 第15-17页 |
| 第二章 碳纳米管场致发射概述 | 第17-25页 |
| 2.1 碳纳米管介绍 | 第17-18页 |
| 2.2 碳纳米管的常见制备方式 | 第18-20页 |
| 2.3 碳纳米管场致发射理论 | 第20-23页 |
| 2.3.1 局域场增强理论 | 第21页 |
| 2.3.2 金属场发射F-N理论 | 第21-22页 |
| 2.3.3 场发射参数 | 第22-23页 |
| 2.4 碳纳米管的表征方法 | 第23-24页 |
| 2.5 章末小结 | 第24-25页 |
| 第三章 微焦点碳纳米管的制备和测试 | 第25-42页 |
| 3.1 微焦点碳纳米管的制备 | 第25-34页 |
| 3.1.1 光刻图案 | 第26-29页 |
| 3.1.2 蒸镀催化剂 | 第29-30页 |
| 3.1.3 碳纳米管生长 | 第30-32页 |
| 3.1.4 碳纳米管生长机制探究 | 第32-33页 |
| 3.1.5 碳纳米管制备工艺的改进 | 第33-34页 |
| 3.2 碳纳米管的性能测试 | 第34-40页 |
| 3.2.1 二极管结构性能测试与老练 | 第34-39页 |
| 3.2.2 三极管结构场发射测试 | 第39-40页 |
| 3.3 章末小结 | 第40-42页 |
| 第四章 微焦点X射线管的结构设计与仿真 | 第42-56页 |
| 4.1 仿真软件简介 | 第42-43页 |
| 4.2 微焦点X射线管的结构 | 第43-44页 |
| 4.3 X射线管的结构仿真 | 第44-54页 |
| 4.3.1 栅极对电子束焦点的影响 | 第45-49页 |
| 4.3.2 聚焦极对电子束聚焦的影响 | 第49-54页 |
| 4.4 优化的微焦点X射线管结构 | 第54页 |
| 4.5 章末小结 | 第54-56页 |
| 第五章 微焦点X射线管的制备与测试 | 第56-64页 |
| 5.1 电子枪装配 | 第56-57页 |
| 5.1.1 电子枪结构材料预处理 | 第56页 |
| 5.1.2 电子枪装配 | 第56-57页 |
| 5.2 X射线管封装 | 第57-58页 |
| 5.3 X射线的直流发射测试 | 第58-59页 |
| 5.4 碳纳米管微焦点X射线管的成像测试 | 第59-61页 |
| 5.5 微焦点X射线管的分辨率测试 | 第61-63页 |
| 5.6 章末小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第70页 |
