石墨烯红外探测性能研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 研究工作的背景和意义 | 第11-16页 |
| 1.2.1 石墨烯材料简介 | 第11-13页 |
| 1.2.2 石墨烯探测器的研究现状和发展态势 | 第13-16页 |
| 1.3 本文的主要贡献与创新 | 第16页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第16-18页 |
| 第二章 石墨烯-金平面异质结的理论基础 | 第18-27页 |
| 2.1 异质结 | 第18页 |
| 2.2 金属-半导体接触 | 第18-22页 |
| 2.2.1 欧姆接触 | 第18-19页 |
| 2.2.2 肖特基势垒模型和整流接触 | 第19-22页 |
| 2.3 石墨烯-金平面异质结 | 第22-26页 |
| 2.3.1 石墨烯-金平面异质结的能带分析 | 第22-24页 |
| 2.3.2 石墨烯-金平面异质结样品的设计 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 石墨烯-金异质结的实验制备 | 第27-38页 |
| 3.1 单层石墨烯的转移工艺 | 第27-28页 |
| 3.2 Lift-Off工艺制备表面条形电极阵列 | 第28-34页 |
| 3.2.1 电子束蒸发沉积金属薄膜 | 第29-31页 |
| 3.2.2 紫外光刻工艺制备条形电极 | 第31-34页 |
| 3.3 样品制备中的问题及解决 | 第34-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 石墨烯-金异质结的光电探测性能测试 | 第38-52页 |
| 4.1 锁相放大器简介 | 第38-39页 |
| 4.2 测试平台的搭建 | 第39-40页 |
| 4.3 石墨烯性质测试 | 第40-42页 |
| 4.4 石墨烯-金异质结的光伏响应特性测试 | 第42-48页 |
| 4.4.1 电极间距对响应的影响 | 第42-44页 |
| 4.4.2 样品的位置响应 | 第44-45页 |
| 4.4.3 样品的功率响应 | 第45-47页 |
| 4.4.4 样品的波长响应 | 第47-48页 |
| 4.4.5 样品的时间响应 | 第48页 |
| 4.5 石墨烯-金异质结的光电探测机制分析 | 第48-50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 基于光学天线的石墨烯中红外吸收增强 | 第52-65页 |
| 5.1 光学天线增强石墨烯吸收模型设计 | 第52-55页 |
| 5.1.1 有限元仿真工具HFSS | 第52-53页 |
| 5.1.2 周期性模型的几何建模 | 第53-55页 |
| 5.2 器件模型的仿真计算 | 第55-60页 |
| 5.2.1 天线尺寸设计及调谐功能仿真 | 第55-58页 |
| 5.2.2 石墨烯化学势对吸收峰的影响 | 第58-60页 |
| 5.3 器件样品的实验制备 | 第60-62页 |
| 5.4 器件样品的测试分析 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第71页 |
