基于压电陶瓷驱动器的平面三自由度微动平台研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现况综述 | 第11-18页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动器研究现况 | 第11-12页 |
| 1.2.2 压电陶瓷驱动器控制技术研究 | 第12-14页 |
| 1.2.3 微动平台研究 | 第14-16页 |
| 1.2.4 微动平台控制方法研究 | 第16-18页 |
| 1.3 课题来源与研究意义 | 第18-19页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第19-21页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第19页 |
| 1.4.2 论文组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动器建模分析 | 第21-34页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 压电陶瓷特性研究 | 第21-25页 |
| 2.2.1 压电陶瓷驱动原理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 压电陶瓷驱动器结构 | 第22-23页 |
| 2.2.3 压电陶瓷驱动器的基本特性 | 第23-25页 |
| 2.2.4 压电陶瓷迟滞性分析 | 第25页 |
| 2.3 基于自适应粒子群算法的PI模型研究 | 第25-33页 |
| 2.3.1 PI模型简介 | 第26-27页 |
| 2.3.2 自适应粒子群算法简介 | 第27页 |
| 2.3.3 PI 模型自适应参数辨识结果及分析 | 第27-29页 |
| 2.3.4 PI 迟滞建模方法的改进 | 第29-31页 |
| 2.3.5 PI 模型改进方法的验证 | 第31-33页 |
| 2.4 小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微动平台运动学分析 | 第34-47页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 运动学模型 | 第34-40页 |
| 3.2.1 微动平台机构简介 | 第34-35页 |
| 3.2.2 运动学逆解 | 第35-36页 |
| 3.2.3 运动学正解 | 第36-38页 |
| 3.2.4 雅克比矩阵 | 第38-40页 |
| 3.2.5 工作空间分析 | 第40页 |
| 3.3 有限元法分析 | 第40-46页 |
| 3.3.1 有限元分析法的分析过程概述 | 第41-42页 |
| 3.3.2 平面梁单元的单元刚度矩阵 | 第42-43页 |
| 3.3.3 平面三角形单元的单元刚度矩阵 | 第43-44页 |
| 3.3.4 定位平台有限元分析 | 第44-46页 |
| 3.4 小结 | 第46-47页 |
| 第四章 微动平台静力学及动力学分析 | 第47-54页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 柔顺铰链分析 | 第47-48页 |
| 4.3 静力学分析 | 第48-50页 |
| 4.4 动力学分析 | 第50-53页 |
| 4.4.1 拉格朗日动力学方程 | 第50-52页 |
| 4.4.2 有限元动力学仿真 | 第52页 |
| 4.4.3 模态测试实验结果 | 第52-53页 |
| 4.5 小结 | 第53-54页 |
| 第五章 实验系统搭建及实验结果分析 | 第54-67页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 PID控制器 | 第54-55页 |
| 5.3 模糊控制器 | 第55-60页 |
| 5.3.1 模糊逻辑PID控制器的建立 | 第56-57页 |
| 5.3.2 模糊化 | 第57页 |
| 5.3.3 模糊推理 | 第57-60页 |
| 5.3.4 解模糊 | 第60页 |
| 5.4 实验系统搭建 | 第60-65页 |
| 5.4.1 实验平台 | 第60-61页 |
| 5.4.2 压电陶瓷驱动器 | 第61-63页 |
| 5.4.3 压电陶瓷控制器 | 第63-64页 |
| 5.4.4 dSPACE控制器 | 第64页 |
| 5.4.5 双频激光干涉仪测定系统 | 第64-65页 |
| 5.4.6 雅克比矩阵的标定 | 第65页 |
| 5.5 实验结果及分析 | 第65-66页 |
| 5.5.1 实验结果 | 第65-66页 |
| 5.5.2 误差分析 | 第66页 |
| 5.6 小结 | 第66-67页 |
| 结论及展望 | 第67-69页 |
| 主要工作及结论 | 第67页 |
| 工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 附件 | 第75页 |
