基于方棱镜的大错位电子散斑干涉形貌测量技术研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·激光散斑概述 | 第10-11页 |
| ·散斑测量技术的发展概况 | 第11-14页 |
| ·三维形貌测量研究的现状和意义 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 电子散斑干涉技术 | 第16-34页 |
| ·电子散斑干涉测量原理 | 第16-20页 |
| ·电子散斑干涉测量典型实验图 | 第16-17页 |
| ·电子散斑干涉测量原理 | 第17-19页 |
| ·数字散斑的相关函数 | 第19-20页 |
| ·ESPI 条纹图的频域滤波方法 | 第20页 |
| ·散斑干涉测量方法 | 第20-26页 |
| ·参考束型散斑干涉测量方法 | 第20-22页 |
| ·双散斑场的干涉 | 第22-23页 |
| ·数字剪切散斑干涉测量方法 | 第23-26页 |
| ·双光楔剪切法 | 第23-25页 |
| ·偏振剪切散斑干涉 | 第25-26页 |
| ·位相测量技术 | 第26-32页 |
| ·相移方法 | 第26-29页 |
| ·傅立叶变换法 | 第29-32页 |
| ·载波法 | 第29-30页 |
| ·傅立叶变换法的原理 | 第30-32页 |
| ·相位图的去包裹处理 | 第32页 |
| ·小结 | 第32-34页 |
| 第三章 形貌测量技术 | 第34-43页 |
| ·光学三角测量法 | 第34页 |
| ·光切法测量 | 第34-35页 |
| ·投影栅线法 | 第35-42页 |
| ·傅立叶变换用于投影栅线法 | 第36-40页 |
| ·相移用于投影栅线法 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 散斑干涉形貌测量技术 | 第43-51页 |
| ·散斑干涉测量的方法概述 | 第43-44页 |
| ·角散斑形貌测量技术 | 第44-47页 |
| ·偏转物体型角散斑测量技术 | 第44-46页 |
| ·偏转光束型角散斑测量技术 | 第46-47页 |
| ·双波长散斑形貌测量技术 | 第47-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第五章 基于方棱镜的大错位电子散斑干涉技术研究 | 第51-60页 |
| ·实验原理 | 第51-57页 |
| ·大错位棱镜剪切原理 | 第51-52页 |
| ·大错位方棱镜及其剪切原理 | 第52-55页 |
| ·物体面形的电子散斑载频调制原理 | 第55-57页 |
| ·实验及结果 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
