基于MEMS技术的压电喷头研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-11页 |
| 1.2 喷头的发展及国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 喷头技术的国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 喷头技术的发展 | 第12-17页 |
| 1.3 课题研究的意义 | 第17-19页 |
| 1.4 课题研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 1.5 小结 | 第20-21页 |
| 第2章 MEMS 技术与压电致动原理 | 第21-36页 |
| 2.1 MEMS 技术 | 第21-24页 |
| 2.2 压电致动的振动模式 | 第24-27页 |
| 2.3 压电喷头的基本原理 | 第27-32页 |
| 2.3.1 压电性 | 第27-30页 |
| 2.3.2 压电喷头的原理分析 | 第30-32页 |
| 2.4 喷腔内部做功分析 | 第32-35页 |
| 2.5 小结 | 第35-36页 |
| 第3章 压电喷头的结构设计及工艺 | 第36-51页 |
| 3.1 压电喷头的结构设计 | 第36-41页 |
| 3.2 压电槽的工艺 | 第41-43页 |
| 3.3 喷孔膜的工艺 | 第43-45页 |
| 3.4 压电喷头的MEMS 工艺 | 第45-50页 |
| 3.5 小结 | 第50-51页 |
| 第4章 压电喷头控制的研究 | 第51-74页 |
| 4.1 压电喷头的控制 | 第51-53页 |
| 4.2 数据输入模块 | 第53-56页 |
| 4.3 寄存器模块 | 第56-61页 |
| 4.4 数据传输模块 | 第61-63页 |
| 4.5 电路的开发与仿真 | 第63-73页 |
| 4.5.1 硬件开发 | 第64-68页 |
| 4.5.2 软件开发与仿真 | 第68-73页 |
| 4.6 小结 | 第73-74页 |
| 第5章 压电喷头的驱动及性能测试 | 第74-90页 |
| 5.1 驱动电路的分析与设计 | 第74-81页 |
| 5.2 压电喷头的结构测试 | 第81-82页 |
| 5.3 压电喷头的驱动及谐振特性 | 第82-89页 |
| 5.4 小结 | 第89-90页 |
| 第6章 总结与展望 | 第90-91页 |
| 6.1 课题完成的工作 | 第90页 |
| 6.2 展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 个人简历 | 第94-95页 |
| 附录 A 部分源程序 | 第95-104页 |
