| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.2 课题的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.3 超表面的国内外研究现状及简析 | 第11-17页 |
| 1.3.1 超表面的国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3.2 超表面的研究现状简析 | 第16-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 超表面的设计理论和薄膜的制备 | 第19-26页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 M IE散射理论 | 第19-20页 |
| 2.3 介质谐振器原理 | 第20-22页 |
| 2.4 二氧化钛薄膜制备方法 | 第22-25页 |
| 2.4.1 衬底的清洗及实验前的准备 | 第22-23页 |
| 2.4.2 二氧化钛薄膜的生长 | 第23-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 二氧化钛薄膜的微结构和光学性质测量 | 第26-34页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 二氧化钛薄膜的微结构 | 第26-30页 |
| 3.2.1 TiO_2薄膜的组成及表面形貌 | 第26-28页 |
| 3.2.2 薄膜的微结构 | 第28-30页 |
| 3.3 二氧化钛薄膜的光学性质 | 第30-33页 |
| 3.3.1 衬底温度对薄膜光学性质的影响 | 第30-31页 |
| 3.3.2 退火温度对薄膜光学性质的影响 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 基于二氧化钛的超表面的设计 | 第34-48页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 基于二氧化钛矩形阵列的介质型超表面结构 | 第34-39页 |
| 4.2.1 异常反射型超表面结构单元的设计 | 第34-35页 |
| 4.2.2 异常反射型超表面的光学传输特性及优化 | 第35-39页 |
| 4.3 基于二氧化钛矩形阵列的异常反射的设计及性能分析 | 第39-44页 |
| 4.3.1 异常反射的设计原理 | 第40-42页 |
| 4.3.2 数值模拟结果分析 | 第42-44页 |
| 4.4 基于二氧化钛矩形阵列的异常反射的改进 | 第44-47页 |
| 4.4.1 改进后的异常反射型超表面结构单元的设计 | 第44-45页 |
| 4.4.2 改进后的异常反射型超表面 | 第45-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 基于二氧化钛的超表面器件的初步实验研究 | 第48-56页 |
| 5.1 引言 | 第48页 |
| 5.2 超表面器件的制备 | 第48-51页 |
| 5.3 初步实验结果 | 第51-55页 |
| 5.3.1 电子束刻写实验结果 | 第51-53页 |
| 5.3.2 刻蚀技术实验结果 | 第53-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |