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MEMS风速敏感装置在高速飞行体上的应用

摘要第3-4页
Abstract第4页
1 绪论第7-14页
    1.1 选题的科学意义和应用前景第7-8页
    1.2 外弹道初始段环境敏感技术国内外研究现状第8-10页
    1.3 风速敏感装置国内外应用现状第10-13页
    1.4 本文工作安排第13-14页
2 风速敏感装置工作环境分析和设计要求第14-24页
    2.1 风速敏感装置环境力分析第14-17页
        2.1.1 勤务处理环境力第14-15页
        2.1.2 主动段与被动段环境力第15-17页
    2.2 风速敏感装置设计要求第17-18页
        2.2.1 小型化要求第17页
        2.2.2 速度测量范围要求第17-18页
        2.2.3 抗过载性能要求第18页
        2.2.4 温度使用范围要求第18页
    2.3 风速敏感装置设计方案选择第18-23页
        2.3.1 风速敏感装置工作方案确定第18-19页
        2.3.2 风速敏感装置速度阈值确定第19-23页
    2.4 本章小结第23-24页
3 风速敏感装置结构设计第24-59页
    3.1 风速敏感装置总体结构设计第24-29页
        3.1.1 风速敏感装置作为外弹道测速装置的工作流程第24-27页
        3.1.2 风速敏感装置安装位置的确定第27-29页
        3.1.3 风速敏感装置的初步结构第29页
    3.2 进气口设计第29-37页
        3.2.0 进气口类型第29-30页
        3.2.1 进气口角度第30-32页
        3.2.2 进气口宽度第32-34页
        3.2.3 进气口深度第34-37页
    3.3 感压薄膜设计第37-44页
        3.3.1 薄膜形状第40-42页
        3.3.2 薄膜厚度第42-44页
    3.4 力敏电阻设计第44-49页
    3.5 调理电路设计第49-51页
        3.5.1 电压放大电路第49-50页
        3.5.2 低通滤波电路第50-51页
    3.6 信号处理系统第51-52页
    3.7 风速敏感装置仿真分析第52-58页
        3.7.1 不同温度时的输出情况第52-54页
        3.7.2 不同海拔时的输出情况第54-56页
        3.7.3 不同速度时的输出情况第56-57页
        3.7.4 阈值电压的确定第57页
        3.7.5 勤务跌落仿真分析第57-58页
    3.8 本章小结第58-59页
4 风速敏感装置加工工艺分析第59-65页
    4.1 加工工艺简介第59-62页
        4.1.1 氧化膜制备工艺第59-60页
        4.1.2 掺杂工艺第60-61页
        4.1.3 键合工艺第61页
        4.1.4 光刻工艺第61-62页
    4.2 加工工艺流程第62-64页
    4.3 本章小结第64-65页
5 风速敏感装置试验分析第65-72页
    5.1 空气压缩机静态吹风试验第65-69页
        5.1.1 测试系统搭建第65-68页
        5.1.2 测试过程及结果分析第68-69页
    5.2 马希特锤冲击试验第69-71页
        5.2.1 测试系统搭建第69-71页
        5.2.2 测试过程及结果分析第71页
    5.3 本章小结第71-72页
6 总结与展望第72-74页
致谢第74-75页
参考文献第75-78页
附录第78页

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