| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 课题研究的意义 | 第7-8页 |
| 1.2 MEMS惯性开关的研究现状 | 第8-15页 |
| 1.2.1 单阈值惯性开关 | 第8-12页 |
| 1.2.2 多阈值惯性开关 | 第12-14页 |
| 1.2.3 现有MEMS惯性开关的特点 | 第14-15页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 环境力分析与设计要求 | 第17-24页 |
| 2.1 引信环境力分析 | 第17-21页 |
| 2.1.1 勤务处理环境 | 第17-18页 |
| 2.1.2 发射环境 | 第18-19页 |
| 2.1.3 飞行环境 | 第19-20页 |
| 2.1.4 碰撞目标环境 | 第20-21页 |
| 2.2 双阈值MEMS万向惯性开关的指标要求 | 第21-23页 |
| 2.2.1 区分目标 | 第21-22页 |
| 2.2.2 万向性 | 第22页 |
| 2.2.3 快速响应与可靠接触 | 第22页 |
| 2.2.4 抗高过载 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 理论分析与结构设计 | 第24-38页 |
| 3.1 MEMS万向惯性开关的工作原理 | 第24页 |
| 3.2 双阈值MEMS惯性开关的理论模型与工作过程 | 第24-26页 |
| 3.3 理论模型的数值分析 | 第26-31页 |
| 3.3.1 低阈值分析 | 第27-29页 |
| 3.3.2 高阈值分析 | 第29页 |
| 3.3.3 响应时间与闭合时间分析 | 第29-31页 |
| 3.4 双阈值MEMS万向惯性开关的结构设计 | 第31-37页 |
| 3.4.1 弹簧质量系统的设计 | 第31-35页 |
| 3.4.2 电极的设计 | 第35-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 有限元仿真分析 | 第38-54页 |
| 4.1 有限元方法 | 第38-39页 |
| 4.2 弹簧质量系统模态分析 | 第39-40页 |
| 4.3 阈值散布分析 | 第40-44页 |
| 4.3.1 XOY平面阈值散布分析 | 第40-42页 |
| 4.3.2 XOZ平面阈值散布分析 | 第42-44页 |
| 4.4 响应时间与闭合时间分析 | 第44-48页 |
| 4.5 载荷适用性分析 | 第48-50页 |
| 4.6 抗过载分析 | 第50-52页 |
| 4.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 5 加工工艺与试验 | 第54-62页 |
| 5.1 MEMS加工技术 | 第54-55页 |
| 5.2 开关加工工艺流程 | 第55-57页 |
| 5.3 双阈值功能的验证性试验 | 第57-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 全文总结 | 第62页 |
| 6.2 论文创新点 | 第62-63页 |
| 6.3 工作展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 | 第69页 |