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复合氧化物薄膜生长机理及物性研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-24页
    1.1 研究背景及意义第11-12页
    1.2 材料简介第12-16页
        1.2.1 铜及其氧化物第12-14页
        1.2.2 锰酸锶和氧化镍材料简介及其研究进展第14-15页
        1.2.3 铁电,铁磁,多铁性材料简介第15-16页
    1.3 复合氧化物薄膜第16-18页
    1.4 界面效应第18-19页
    1.5 本论文的研究意义和内容第19-20页
    参考文献第20-24页
第二章 靶材和薄膜的制备方法和表征手法第24-37页
    2.1 靶材的制备第24-26页
    2.2 薄膜的制备第26-29页
        2.2.1 脉冲激光沉积技术第26-27页
        2.2.2 脉冲激光沉积系统构造第27-28页
        2.2.3 薄膜的制备工艺第28-29页
    2.3 薄膜测试和表征方法第29-36页
        2.3.1 X射线衍射第29-30页
        2.3.2 原子力显微镜第30-31页
        2.3.3 扫描电子显微镜第31页
        2.3.4 透射电子显微镜第31-32页
        2.3.5 X射线能谱仪第32-33页
        2.3.6 UV-3600光的吸收测试第33页
        2.3.7 综合物性测量系统第33-36页
    参考文献第36-37页
第三章 铜及其氧化物薄膜的制备及分析测试第37-50页
    3.1 引言第37页
    3.2 薄膜测试分析第37-46页
        3.2.1 靶材的X射线衍射分析第37-38页
        3.2.2 Cu及其氧化物薄膜的XRD分析第38-42页
        3.2.3 XPS及XAES分析测试第42-46页
    3.3 结果总结讨论第46-48页
    参考文献第48-50页
第四章 铜及其氧化物薄膜的微结构及性质测试第50-60页
    4.1 引言第50页
    4.2 分析测试和讨论第50-57页
        4.2.1 表面形貌分析测试第50-54页
        4.2.2 薄膜微结构测试第54-55页
        4.2.3 电性质测试第55-56页
        4.2.4 光性质测试第56-57页
    4.3 本章小结第57-59页
    参考文献第59-60页
第五章 SrMnO_3单相、复合薄膜的制备及物性研究第60-77页
    5.1 引言第60页
    5.2 单相薄膜的制备第60-64页
        5.2.1 单相靶材的制备第60-62页
        5.2.2 SMO单相薄膜的制备第62-64页
        5.2.3 NiO单相薄膜的制备第64页
    5.3 复合靶材及薄膜的制备第64-66页
    5.4 复合薄膜物性研究分析第66-74页
        5.4.1 复合薄膜微结构的研究第66-70页
        5.4.2 复合薄膜磁性测试第70-74页
    5.5 本章小结第74-75页
    参考文献第75-77页
第六章 总结第77-79页
攻读硕士期间公开发表的论文第79-80页
致谢第80-81页

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