| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11页 |
| 1.2 薄膜热电偶国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 选题依据及研究内容 | 第15-16页 |
| 1.3.1 选题依据 | 第15页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 PtRh和Pt薄膜的制备及性能研究 | 第16-35页 |
| 2.1 薄膜材料的制备及表征方法 | 第16-20页 |
| 2.1.1 薄膜材料的制备方法 | 第16-17页 |
| 2.1.2 薄膜材料的表征方法 | 第17-20页 |
| 2.2 PtRh和Pt薄膜的制备及性能研究 | 第20-34页 |
| 2.2.1 基片温度对PtRh和Pt薄膜性能的影响 | 第20-24页 |
| 2.2.2 薄膜厚度对PtRh和Pt薄膜性能的影响 | 第24-26页 |
| 2.2.3 退火处理对PtRh和Pt薄膜性能的影响 | 第26-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 陶瓷基片上S型薄膜热电偶的制备及性能研究 | 第35-56页 |
| 3.1 热电偶的基本原理 | 第35-36页 |
| 3.1.1 热电效应 | 第35页 |
| 3.1.2 热电偶基本定律 | 第35-36页 |
| 3.2 薄膜热电偶的标定 | 第36-39页 |
| 3.3 陶瓷基片上S型薄膜热电偶的制备 | 第39-40页 |
| 3.4 陶瓷基片上S型薄膜热电偶的热电性能测试 | 第40-55页 |
| 3.4.1 薄膜热电偶的塞贝克系数 | 第40-41页 |
| 3.4.2 基片温度对S型薄膜热电偶热电性能的影响 | 第41-48页 |
| 3.4.3 薄膜厚度对S型薄膜热电偶热电性能的影响 | 第48-51页 |
| 3.4.4 退火处理对S型薄膜热电偶热电性能的影响 | 第51-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 镍基高温合金上S型薄膜热电偶的制备及性能研究 | 第56-64页 |
| 4.1 镍基高温合金上S型薄膜热电偶的结构 | 第56-57页 |
| 4.2 镍基高温合金上S型薄膜热电偶的制备 | 第57-60页 |
| 4.2.1 基片的前期处理 | 第57页 |
| 4.2.2 NiCrAlY合金过渡层及热生长Al2O3层的制备 | 第57-58页 |
| 4.2.3 Al_2O_3绝缘层的制备 | 第58-59页 |
| 4.2.4 功能层的制备 | 第59页 |
| 4.2.5 薄膜热电偶的剖面形貌 | 第59-60页 |
| 4.3 镍基高温合金上S型薄膜热电偶的热电性能测试 | 第60-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 S型薄膜热电偶在涡轮叶片上的制备及测试 | 第64-68页 |
| 5.1 S型薄膜热电偶在涡轮叶片上的制备 | 第64-65页 |
| 5.1.1 涡轮叶片的预处理 | 第64页 |
| 5.1.2 图形化方法 | 第64-65页 |
| 5.1.3 薄膜热电偶的信号引出方法 | 第65页 |
| 5.2 涡轮叶片上S型薄膜热电偶的静态标定 | 第65-66页 |
| 5.3 S型薄膜热电偶在涡轮叶片冷却效果试验中的应用 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 结论 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第74-75页 |
