| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第10-15页 |
| 1.2.1 干涉仪的国内外发展现状及分析 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内外在外差信号提取方向上的研究现状及分析 | 第12-14页 |
| 1.2.3 国内外在 Zernike 多项式数据拟合方向上的研究现状及分析 | 第14-15页 |
| 1.3 论文主要内容 | 第15-17页 |
| 第2章 MEMS 激光外差干涉仪相位差测量原理 | 第17-27页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 MEMS 激光外差干涉仪系统 | 第17-21页 |
| 2.2.1 激光光源系统 | 第17-18页 |
| 2.2.2 激光干涉系统 | 第18-19页 |
| 2.2.3 MEMS 扫描系统 | 第19-20页 |
| 2.2.4 信号采集和处理系统 | 第20-21页 |
| 2.3 MEMS 振镜工作原理 | 第21-24页 |
| 2.3.1 MEMS 振镜扫描角度与驱动信号频率的关系 | 第22-23页 |
| 2.3.2 MEMS 振镜扫描角度与驱动信号占空比的关系 | 第23-24页 |
| 2.4 F-Theta 透镜组工作原理 | 第24-25页 |
| 2.5 数据采集卡工作原理 | 第25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 相位差提取算法研究 | 第27-43页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 FFT 变换法 | 第27-31页 |
| 3.2.1 信噪比对 FFT 变换法相位精度的影响 | 第28-29页 |
| 3.2.2 采样率对 FFT 变换法相位精度的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.3 采样深度对 FFT 变换法相位精度的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.4 频谱分辨率对 FFT 变换法相位精度的影响 | 第31页 |
| 3.3 IQ 正交解调法 | 第31-37页 |
| 3.3.1 信噪比对 IQ 正交解调法相位精度的影响 | 第33页 |
| 3.3.2 采样率对 IQ 正交解调法相位精度的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.3 采样深度对 IQ 正交解调法相位精度的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.4 滤波器阶数对 IQ 正交解调法相位精度的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.5 滤波器截止频率对 IQ 正交解调法相位精度的影响 | 第36-37页 |
| 3.4 最小二乘法 | 第37-41页 |
| 3.4.1 信噪比对最小二乘法相位精度的影响 | 第39页 |
| 3.4.2 采样率对最小二乘法相位精度的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.3 采样深度对最小二乘法相位精度的影响 | 第40-41页 |
| 3.5 相位差提取算法比较 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 面形拟合算法研究 | 第43-55页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 Gram-chmidt 正交化方法 | 第44-45页 |
| 4.2.1 Gram-Schmidt 正交化方法 | 第44-45页 |
| 4.2.2 协方差矩阵法 | 第45页 |
| 4.3 Householder 变换法 | 第45-48页 |
| 4.4 面形拟合算法比较 | 第48-54页 |
| 4.4.1 Zernike 多项式的阶数对拟合精度的影响 | 第49-51页 |
| 4.4.2 待测物表面噪声对拟合精度的影响 | 第51-54页 |
| 4.4.3 算法比较 | 第54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 MEMS 激光外差干涉仪数据处理与实验 | 第55-64页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 采样时间和采样点数的确定 | 第55-56页 |
| 5.3 相位差提取与面形拟合算法仿真 | 第56-58页 |
| 5.4 系统测量显示界面 | 第58-60页 |
| 5.5 实验测量结果 | 第60-63页 |
| 5.5.1 二维测量结果 | 第60-63页 |
| 5.5.2 误差分析 | 第63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
