| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 Ti-Si-N 超硬薄膜发展 | 第7-10页 |
| 1.2.1 TiN 薄膜材料 | 第7-9页 |
| 1.2.2 Ti-Si-N 类纳米表面生长研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 Nb-Si-N 超硬薄膜发展 | 第10-15页 |
| 1.3.1 NbN 薄膜材料 | 第10-13页 |
| 1.3.2 Nb-Si-N 类纳米表面生长研究现状及问题 | 第13-15页 |
| 2 第一性原理计算方法 | 第15-23页 |
| 2.1 第一性原理 | 第15-19页 |
| 2.1.1 Schr dinger 方程 | 第15-16页 |
| 2.1.2 Born-Oppenheimer 近似 | 第16页 |
| 2.1.3 Hartree-Fock 轨道近似 | 第16-17页 |
| 2.1.4 密度泛函理论(DFT) | 第17-18页 |
| 2.1.5 平面波方法 | 第18-19页 |
| 2.1.6 赝势 | 第19页 |
| 2.2 VASP 软件包 | 第19-23页 |
| 2.2.1 VASP 软件包的单机并行安装 | 第20-21页 |
| 2.2.2 VASP 软件包的计算 | 第21-23页 |
| 3 Nb-Si-N 复合表面力学性能 | 第23-34页 |
| 3.1 力学常数计算原理 | 第23-28页 |
| 3.1.1 力学常数定义 | 第23-25页 |
| 3.1.2 力学常数的求解方法 | 第25-28页 |
| 3.2 晶格常数计算 | 第28-30页 |
| 3.2.1 单原子能量计算 | 第28-29页 |
| 3.2.2 优化晶格常数 | 第29页 |
| 3.2.3 内聚能计算 | 第29-30页 |
| 3.3 力学常数计算模型 | 第30-31页 |
| 3.4 计算结果与小结 | 第31-34页 |
| 3.4.1 力学常数的计算结果 | 第31-33页 |
| 3.4.2 小结 | 第33-34页 |
| 4 Nb-Si-N 复合表面形成过程 | 第34-51页 |
| 4.1 单粒子 NbN(001)表面迁移 | 第34-43页 |
| 4.1.1 表面吸附能及势能面 | 第34-37页 |
| 4.1.2 单原子表面迁移激活能 | 第37-42页 |
| 4.1.3 小结 | 第42-43页 |
| 4.2 单粒子绕岛迁移 | 第43-51页 |
| 4.2.1 绕岛迁移模型与吸附能 | 第43-45页 |
| 4.2.2 单粒子绕岛迁移激活能 | 第45-50页 |
| 4.2.3 小结 | 第50-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 附录：力学常数计算的流程框图 | 第59-60页 |
| 索引 | 第60-62页 |
| 在学研究成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
