| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-20页 |
| 1.3.1 机械主体研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3.2 机器视觉硬件系统研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3.3 晶圆预对准算法研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 晶圆预对准系统建模及仿真 | 第22-36页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 晶圆边缘几何模型 | 第22-23页 |
| 2.3 晶圆边缘数据采集模型建立 | 第23-28页 |
| 2.3.1 模型建立 | 第23-26页 |
| 2.3.2 Matlab仿真 | 第26-28页 |
| 2.4 晶圆偏心识别 | 第28-30页 |
| 2.4.1 三点定圆法 | 第28-29页 |
| 2.4.2 最小二乘法 | 第29页 |
| 2.4.3 质心获得算法(Barycenter Acquiring Algorithm) | 第29-30页 |
| 2.5 晶圆缺口识别 | 第30-34页 |
| 2.5.1 最值法 | 第30-31页 |
| 2.5.2 差分法 | 第31-32页 |
| 2.5.3 曲线拟合法 | 第32-33页 |
| 2.5.4 质心获得算法(Barycenter Acquiring Algorithm) | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 晶圆预对准系统误差精度分析 | 第36-50页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 晶圆偏心识别误差精度分析 | 第36-46页 |
| 3.2.1 晶圆偏心识别原理 | 第36-37页 |
| 3.2.2 理想情况下的偏心识别 | 第37-41页 |
| 3.2.3 有转动中心偏置时的偏心识别 | 第41-46页 |
| 3.3 晶圆缺口识别误差精度分析 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 晶圆预对准系统标定方案设计 | 第50-58页 |
| 4.1 引言 | 第50-51页 |
| 4.2 预对准机自身标定 | 第51页 |
| 4.3 预对准机与机械手相对坐标系标定 | 第51-56页 |
| 4.3.1 原始方案 | 第52-53页 |
| 4.3.2 改进方案一 | 第53-54页 |
| 4.3.3 改进方案二 | 第54-55页 |
| 4.3.4 改进方案三 | 第55页 |
| 4.3.5 标定结果验证方案 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第5章 晶圆预对准系统实现及精度测试 | 第58-72页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 晶圆预对准系统实现 | 第58-60页 |
| 5.3 晶圆预对准系统精度测试 | 第60-70页 |
| 5.3.1 电机控制 | 第61-63页 |
| 5.3.2 真空吸附对晶圆的影响 | 第63-64页 |
| 5.3.3 气缸升降对晶圆的影响 | 第64-65页 |
| 5.3.4 晶圆滑动测试 | 第65-66页 |
| 5.3.5 缺口重复定位 | 第66-68页 |
| 5.3.6 偏心值求取 | 第68-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 第6章 结论与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 结论 | 第72-73页 |
| 6.2 展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 攻读学位期间发表论文及申报专利情况 | 第80-82页 |
| 作者简介 | 第82-84页 |
| 附录A 晶圆缺口各段端点计算程序 | 第84-88页 |
| 附录B 专利申请受理通知书 | 第88-92页 |