| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的提出及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 激光加工技术和发展动态 | 第10-11页 |
| 1.2.1 激光切割的研究背景 | 第10页 |
| 1.2.2 激光切割技术原理 | 第10-11页 |
| 1.2.3 激光切割技术发展现状 | 第11页 |
| 1.3 微定位控制系统 | 第11-16页 |
| 1.3.1 微定位系统的总体结构 | 第11-12页 |
| 1.3.2 压电陶瓷驱动器（PZT） | 第12页 |
| 1.3.3 微定位平台的国内外发展现状 | 第12-15页 |
| 1.3.4 控制系统发展现状 | 第15-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 PZT驱动式激光切割机焦点控制微定位平台的结构设计 | 第17-28页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 位移放大机构的基本形式 | 第17-18页 |
| 2.3 位移放大机构的基本形式 | 第18-20页 |
| 2.3.1 液压放大机构 | 第18-19页 |
| 2.3.2 杠杆放大机构 | 第19页 |
| 2.3.3 桥式放大机构 | 第19-20页 |
| 2.4 菱形位移放大机构的设计 | 第20-26页 |
| 2.4.1 菱形位移放大机构工作原理 | 第20页 |
| 2.4.2 菱形位移放大机构的正交设计 | 第20-24页 |
| 2.4.3 菱形位移放大机构静态分析 | 第24-26页 |
| 2.5 柔性铰链结构形式的选取 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 PZT驱动式激光切割机焦点控制微定位平台的静态分析 | 第28-43页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 平行板柔性梁的分析 | 第28-33页 |
| 3.2.1 弹性板柔性梁的静力学分析 | 第29-32页 |
| 3.2.2 弹性板柔性梁各参数对梁刚度的影响分析 | 第32-33页 |
| 3.3 PZT驱动式激光切割机焦点控制微定位平台分析 | 第33-38页 |
| 3.4 PZT驱动式激光切割机焦点控制微定位平台的有限元分析 | 第38-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 微定位平台的动力学建模及控制系统研究 | 第43-56页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 微定位平台的刚度模型分析 | 第43-46页 |
| 4.3 微定位平台的动力学模型 | 第46-53页 |
| 4.4 PID控制系统 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 实验系统 | 第56-63页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 实验系统的建立 | 第56-57页 |
| 5.3 微定位平台的开环位移输出特性 | 第57-59页 |
| 5.4 微定位平台的闭环位移输出特性 | 第59-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 在学研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
