| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-34页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第12-22页 |
| 1.2 EUV多层膜表面碳污染清洗技术研究现状 | 第22-29页 |
| 1.3 EUV多层膜表面碳污染厚度检测技术研究现状 | 第29-31页 |
| 1.4 论文研究意义及结构框架 | 第31-34页 |
| 第2章 EUV多层膜表面碳污染及原子氢清洗机理研究 | 第34-50页 |
| 2.1 EUV多层膜表面碳污染机理研究 | 第34-43页 |
| 2.2 原子氢清洗多层膜表面碳污染机理研究 | 第43-49页 |
| 2.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染模型建立 | 第50-66页 |
| 3.1 原子氢清洗碳污染模型建立 | 第50-56页 |
| 3.2 理论模型拟合值与实验数据对比 | 第56-58页 |
| 3.3 基于模型分析影响清洗速率的主要因素 | 第58-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第4章 原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染实验研究 | 第66-106页 |
| 4.1 原子氢清洗碳污染实验平台搭建及样品制备 | 第66-79页 |
| 4.2 原子氢清洗碳污染可行性实验验证 | 第79-83页 |
| 4.3 清洗条件对碳污染清洗速率影响实验研究 | 第83-96页 |
| 4.4 EUV多层膜碳污染样品清洗效果评估 | 第96-105页 |
| 4.5 本章小结 | 第105-106页 |
| 第5章 EUV多层膜表面碳污染厚度的椭圆偏光法测量技术研究 | 第106-124页 |
| 5.1 椭圆偏光法测量基本原理 | 第106-109页 |
| 5.2 基于椭圆偏光法测量多层膜样品表面碳污染厚度 | 第109-123页 |
| 5.3 本章小结 | 第123-124页 |
| 第6章 总结与展望 | 第124-128页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第124-125页 |
| 6.2 论文主要创新工作 | 第125-126页 |
| 6.3 研究展望 | 第126-128页 |
| 参考文献 | 第128-140页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第140-142页 |
| 指导教师及作者简介 | 第142-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
