| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·传统检测技术 | 第9-11页 |
| ·半导体表面缺陷检测技术 | 第9-10页 |
| ·半导体内部缺陷检测技术 | 第10-11页 |
| ·新兴检测技术 | 第11-15页 |
| ·表面等离子光学简介 | 第11-12页 |
| ·表面等离子体波发展历史以及应用场景 | 第12页 |
| ·太赫兹技术简介 | 第12-15页 |
| ·太赫兹表面等离子体波介绍 | 第15-16页 |
| ·本文研究内容与论文结构 | 第16-18页 |
| 第二章 基于太赫兹表面等离子体波的半导体缺陷检测系统的基本理论及数值计算 | 第18-32页 |
| ·半导体的光学性质 | 第18-21页 |
| ·表面等离子体波基本理论 | 第21-26页 |
| ·表面等离子体波的色散方程 | 第21-24页 |
| ·表面等离子体波激发结构 | 第24-25页 |
| ·表面等离子体波传播特性 | 第25-26页 |
| ·半导体缺陷检测系统 | 第26-27页 |
| ·半导体缺陷检测系统的设计 | 第26-27页 |
| ·半导体缺陷检测系统的的理论计算与分析 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 半导体缺陷检测系统的仿真研究 | 第32-41页 |
| ·表面等离子体波的仿真方法简介 | 第32-33页 |
| ·FEM软件模拟太赫兹表面等离子体波传播模式 | 第33-35页 |
| ·半导体表面缺陷检测仿真 | 第35-36页 |
| ·半导体内部缺陷检测仿真 | 第36-38页 |
| ·不同频率的影响因素 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 基于太赫兹表面等离子体波半导体缺陷测试系统的实验研究 | 第41-53页 |
| ·太赫兹时域光谱技术简介 | 第41-42页 |
| ·实验装置简介和半导体检测系统的搭建 | 第42-45页 |
| ·实验装置简介 | 第42-43页 |
| ·半导体检测系统的搭建 | 第43-45页 |
| ·太赫兹光谱和太赫兹表面等离子体波光谱的测量 | 第45-48页 |
| ·太赫兹光谱的测量 | 第45-46页 |
| ·太赫兹表面等离子波光谱的测量 | 第46-48页 |
| ·具体实验步骤以及数据处理过程 | 第48-52页 |
| ·不同尺寸缺陷的检测结果和分析 | 第48-50页 |
| ·影响检测系统效率因素 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录1 程序清单 | 第59-61页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第61-62页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第62-63页 |
| 附录4 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |