敏感陶瓷溅射金属化机制及产业化研究

致谢	第1-5页
摘要	第5-7页
Abstract	第7-13页
图录	第13-16页
表录	第16-17页
第一章 绪论	第17-35页
·氧化锌压敏陶瓷	第17-23页
·氧化锌陶瓷基本概况	第17-19页
·氧化锌压敏电阻的性能参数	第19-23页
·NTC热敏陶瓷	第23-26页
·NTC热敏陶瓷基本概况	第23-24页
·NTC热敏电阻的性能参数	第24-26页
·金属化技术	第26页
·金属化的制备方法	第26-29页
·烧结被银法	第26-27页
·化学沉积法	第27页
·金属喷涂法	第27页
·物理气相沉积法	第27-29页
·国内外研究现状	第29-31页
·当前工艺存在的问题	第31-32页
·选题背景和研究动机	第32-33页
·本文主要工作及结构安排	第33-35页
第二章 溅射膜电极的成膜机制及膜层设计	第35-52页
·金属化原理和成膜机制	第35-37页
·磁控溅射金属化原理	第35页
·金属薄膜生长机制	第35-37页
·金属化电极薄膜的性能要求	第37-38页
·多层膜结构电极的设计原理	第38-48页
·电极层与陶瓷界面机制	第38-45页
·电极的导电特性	第45-46页
·电极的抗无铅焊料熔蚀机制	第46-48页
·多层膜电极的结构设计	第48-50页
·本章小结	第50-52页
第三章 溅射膜电极与陶瓷界面机制研究	第52-67页
·制备Cr/ZnO界面样品	第52-54页
·实验设备	第52-54页
·实验制备流程	第54页
·测试方法与结果	第54-64页
·采用XRD技术分析ZnO薄膜	第55-56页
·采用XPS技术分析Cr/ZnO界面样品	第56-64页
·Cr/ZnO界面反应的作用	第64-65页
·本章小结	第65-67页
第四章 磁控溅射法制备氧化锌压敏陶瓷电极膜	第67-79页
·在氧化锌陶瓷表面制备电极	第67-69页
·性能测试和结果分析	第69-77页
·抗拉强度的测试与结果分析	第69-71页
·焊接性能的测试和分析	第71-72页
·元件的电性能测试和结果分析	第72-75页
·电极薄膜的微观结构	第75-77页
·本章小结	第77-79页
第五章 磁控溅射法制备NTC陶瓷电极膜	第79-91页
·在NTC陶瓷表面制备电极	第79-80页
·性能测试和结果分析	第80-84页
·抗拉强度的测试与结果分析	第80-81页
·焊接性能的测试和分析	第81-82页
·器件的电性能测试和结果分析	第82-84页
·确定溅射膜电极的最佳膜厚	第84-87页
·电极薄膜的微观结构	第87-89页
·本章小结	第89-91页
第六章 产业化研究与应用	第91-107页
·生产线简介	第91-93页
·程序设计和软件界面	第93-101页
·程序主界面	第95页
·开机命令写入窗口	第95-96页
·工艺设置窗口	第96-97页
·关机命令写入窗口	第97-98页
·直接出片窗口	第98-99页
·手动模式界面	第99-100页
·关闭界面窗口	第100页
·异常关机提示窗口	第100页
·片架状态设置窗口	第100-101页
·运行过程	第101-102页
·磁控溅射工艺的可行性和优越性	第102-106页
·磁控溅射工艺的金属化质量	第102-104页
·磁控溅射工艺与其他电极工艺比较	第104-106页
·本章小结	第106-107页
第七章 总结与展望	第107-110页
·论文的主要内容	第107-108页
·论文的主要创新点	第108-109页
·展望	第109-110页
附录	第110-113页
参考文献	第113-119页
作者简历以及在校期间取得的科研成果	第119页