外延设备硅片传输控制软件研发
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 引言 | 第9-16页 |
| ·论文的选题背景及来源 | 第9-10页 |
| ·硅片传输系统概述 | 第10-14页 |
| ·硅片传输系统的分类 | 第10-13页 |
| ·国内外发展现状及研究意义 | 第13-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| ·开发平台 | 第15-16页 |
| 2 系统分析 | 第16-36页 |
| ·系统描述 | 第16-29页 |
| ·外延设备整体描述 | 第16-27页 |
| ·硅片传输 | 第27-29页 |
| ·需求分析 | 第29-36页 |
| ·功能需求 | 第29-32页 |
| ·性能需求 | 第32-33页 |
| ·运行需求 | 第33-34页 |
| ·安全需求 | 第34-36页 |
| 3 基于分层模块化思想的软件设计 | 第36-46页 |
| ·软件系统的分层模块化设计思想 | 第36-38页 |
| ·系统结构 | 第38-46页 |
| ·软件整体部署 | 第38-40页 |
| ·系统层次结构 | 第40-46页 |
| 4 基于有限状态机原理的软件逻辑控制 | 第46-107页 |
| ·有限状态机的基本原理 | 第46-47页 |
| ·系统整体运行状态控制 | 第47-52页 |
| ·逻辑调度层状态机控制 | 第52-76页 |
| ·TMC加载状态模型 | 第52-55页 |
| ·TMC卸载状态模型 | 第55-58页 |
| ·Robot传输状态模型 | 第58-61页 |
| ·VCE传输状态模型 | 第61-66页 |
| ·Aligner传输状态模型 | 第66-71页 |
| ·Cooler传输状态模型 | 第71-76页 |
| ·设备控制层状态机控制 | 第76-96页 |
| ·VCE状态跃迁模型 | 第76-82页 |
| ·Robot状态跃迁模型 | 第82-86页 |
| ·Aligner状态跃迁模型 | 第86-89页 |
| ·TransferChamber状态跃迁模型 | 第89-91页 |
| ·Cooler状态跃迁模型 | 第91-96页 |
| ·单元设备层状态机控制 | 第96-107页 |
| ·IOGateValve状态模型 | 第96-98页 |
| ·IOGasValve状态模型 | 第98-100页 |
| ·IOPins状态模型 | 第100-103页 |
| ·IOVceDoor状态模型 | 第103页 |
| ·IOPoppet状态模型 | 第103页 |
| ·IOPlatform状态模型 | 第103-105页 |
| ·IORobot状态模型 | 第105-107页 |
| 5 软件的代码实现 | 第107-128页 |
| ·传输逻辑控制模块代码实现 | 第107-122页 |
| ·设计说明 | 第107页 |
| ·静态结构 | 第107-108页 |
| ·模块外部接口 | 第108-109页 |
| ·核心类定义 | 第109-116页 |
| ·数据结构定义 | 第116-122页 |
| ·维护与测试模块代码实现 | 第122-128页 |
| ·设计说明 | 第122-123页 |
| ·静态结构 | 第123页 |
| ·模块外部接口 | 第123-124页 |
| ·核心类定义 | 第124-128页 |
| 6 软件测试 | 第128-136页 |
| 7 总结 | 第136-137页 |
| 参考文献 | 第137-139页 |
| 致谢 | 第139-140页 |
| 个人简历 | 第140页 |
