摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
目录 | 第9-11页 |
第一章 绪论 | 第11-15页 |
·研究背景和意义 | 第11-13页 |
·论文的结构 | 第13-15页 |
第二章 文献综述 | 第15-33页 |
·天线电池发展进程 | 第15-18页 |
·第一个实用的转换天线 | 第15页 |
·最早的天线太阳电池模型 | 第15-16页 |
·Marks的天线太阳电池 | 第16-17页 |
·天线太阳能电池最新进展 | 第17-18页 |
·MIM二极管发展进程 | 第18-31页 |
·MIM二极管工作原理 | 第18-20页 |
·MIM二极管性能标准 | 第20-21页 |
·M1M二极管结构要求 | 第21-23页 |
·MIM二极管制备工艺 | 第23-26页 |
·面接触MIM二极管金属层制备工艺 | 第26-27页 |
·面接触MIM二极管中间绝缘层制备工艺 | 第27-31页 |
·研究方向 | 第31-33页 |
第三章 实验内容与研究方法 | 第33-37页 |
·实验方案 | 第33-34页 |
·合成制备设备 | 第34-35页 |
·直流磁控溅射 | 第34页 |
·电化学工作站 | 第34-35页 |
·热处理炉 | 第35页 |
·测试表征设备 | 第35-37页 |
·场发射扫描电境(FESEM) | 第35-36页 |
·透射电子显微镜(TEM) | 第36页 |
·KEITHLEY 4200-SCS半导体参数分析仪 | 第36-37页 |
第四章 模板法制备Ni-NiO_x-Cu隧道二极管及其表征 | 第37-45页 |
·引言 | 第37页 |
·实验 | 第37-39页 |
·Ni-NiO_x-Cu二极管的制备 | 第37-38页 |
·Ni-NiO_x-Cu二极管的表征 | 第38-39页 |
·结果与讨论 | 第39-44页 |
·金属电极的结构表征 | 第39-40页 |
·氧化物绝缘层的结构表征 | 第40-41页 |
·Ni-NiO_x-Cu二极管的结构表征 | 第41-42页 |
·Ni-NiO_x-Cu二极管的电学性能表征 | 第42-44页 |
·本章小结 | 第44-45页 |
第五章 热处理工艺对Ni-NiO_x-Cu二极管电学性能的影响 | 第45-53页 |
·引言 | 第45页 |
·实验 | 第45-46页 |
·结果与讨论 | 第46-52页 |
·热处理工艺对NiO_x绝缘层的影响 | 第46-48页 |
·热氧化时间对于Ni-NiO_x-Cu二极管电学性能的影响 | 第48-50页 |
·热氧化温度对于Ni-NiO_x-Cu二极管电学性能的影响 | 第50-52页 |
·本章小结 | 第52-53页 |
第六章 金属电极功函数差对MIM二极管电学性能的影响 | 第53-63页 |
·引言 | 第53-54页 |
·实验 | 第54-55页 |
·具有不同金属电极的MIM二极管的制备 | 第54页 |
·具有不同接触面积的Ni-NiO_x-Cu二极管的制备 | 第54-55页 |
·结果与讨论 | 第55-61页 |
·具有不同功函数差金属电极MIM二极管的电学性能 | 第55-58页 |
·具有不同金属与氧化物接触面积Ni-NiO_x-Cu二极管的电学性能 | 第58-61页 |
·本章小结 | 第61-63页 |
第七章 结论 | 第63-65页 |
参考文献 | 第65-71页 |
致谢 | 第71-73页 |
个人简历 | 第73-75页 |
攻读学位期间发表的学术与取得的其它研究成果 | 第75页 |