| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-36页 |
| ·半导体传感器 | 第17-21页 |
| ·半导体气体传感器 | 第18-19页 |
| ·半导体生物传感器 | 第19页 |
| ·半导体传感器的发展趋势 | 第19-21页 |
| ·声表面波和传感技术 | 第21-26页 |
| ·声表面波技术 | 第21-22页 |
| ·声表面波传感技术 | 第22-23页 |
| ·声表面波传感技术的发展概要 | 第23-24页 |
| ·声表面波传感器的分类和特点 | 第24-26页 |
| ·ZnO材料的研究进展 | 第26-30页 |
| ·ZnO基本性质 | 第26-27页 |
| ·ZnO材料的应用 | 第27-28页 |
| ·ZnO纳米材料的发展与应用 | 第28-30页 |
| ·论文主要研究内容 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-36页 |
| 第二章 ZnO纳米棒气敏材料的制备 | 第36-53页 |
| ·研究背景 | 第36页 |
| ·射频磁控溅射系统和基本物性表征 | 第36-39页 |
| ·RF磁控溅射系统 | 第36-37页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第37页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第37-38页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第38页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第38-39页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第39页 |
| ·ZnO纳米棒的制备 | 第39-40页 |
| ·晶种的制备方法 | 第39-40页 |
| ·ZnO纳米棒的生长 | 第40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-50页 |
| ·ZnO纳米棒的结构与形貌分析 | 第40-41页 |
| ·ZnO纳米棒生长条件探索 | 第41-48页 |
| ·晶种制备方法的影响 | 第41-43页 |
| ·前驱液pH值的影响 | 第43-45页 |
| ·衬底的影响 | 第45-47页 |
| ·前驱物不同的影响 | 第47页 |
| ·杂质的影响 | 第47-48页 |
| ·ZnO纳米棒的生长机理 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第三章 Love波氢气传感器的研制 | 第53-71页 |
| ·研究背景 | 第53-54页 |
| ·实验部分 | 第54-58页 |
| ·导波层(种子层)的制备 | 第54页 |
| ·ZnO纳米棒敏感层的制备 | 第54-55页 |
| ·Love波氢气传感器的制备 | 第55页 |
| ·Love波氢气传感器传感测试 | 第55-58页 |
| ·放大电路及性能 | 第56-57页 |
| ·气体传感测试系统 | 第57-58页 |
| ·实验结果 | 第58-64页 |
| ·ZnO薄膜层 | 第58-61页 |
| ·晶体结构分析 | 第58-59页 |
| ·表面形貌分析 | 第59-60页 |
| ·化学组分分析 | 第60-61页 |
| ·Love波氢气传感器 | 第61-64页 |
| ·频率响应 | 第61-62页 |
| ·氢气传感测试结果 | 第62-64页 |
| ·氢气传感结果讨论 | 第64-65页 |
| ·基于In_2O_3-ZnO复合敏感膜的声表面波氢气传感器 | 第65-68页 |
| ·声表面波传感器的制备 | 第65-66页 |
| ·实验结果与讨论 | 第66-68页 |
| ·敏感膜的形貌特性 | 第66-67页 |
| ·氢气传感特性 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 第四章 (1120)ZnO薄膜的制备研究 | 第71-89页 |
| ·研究背景 | 第71-73页 |
| ·ZnO薄膜的生长条件及优化 | 第73-85页 |
| ·靶材成分/杂质 | 第73-77页 |
| ·ZnO薄膜的p型掺杂 | 第73-76页 |
| ·ZnO薄膜的n型掺杂 | 第76-77页 |
| ·衬底温度 | 第77-80页 |
| ·溅射气体组分/O_2分压比 | 第80-83页 |
| ·衬底溅射位置 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |
| 第五章 (1120)ZnO/R-蓝宝石结构声学器件的研制 | 第89-100页 |
| ·研究背景 | 第89页 |
| ·高次体波谐振器(HBAR) | 第89-92页 |
| ·HBAR的研制 | 第89-91页 |
| ·HBAR的声学特性 | 第91-92页 |
| ·SAW延迟线 | 第92-97页 |
| ·SAW延迟线的设计 | 第92-93页 |
| ·SAW特性 | 第93-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
| 第六章 (1120)ZnO薄膜双层结构SAW器件的理论分析 | 第100-115页 |
| ·研究背景 | 第100页 |
| ·基本原理 | 第100-107页 |
| ·坐标变换 | 第100-102页 |
| ·运动方程 | 第102-103页 |
| ·部分波理论 | 第103-105页 |
| ·边界条件 | 第105-107页 |
| ·计算结果 | 第107-111页 |
| ·相速度 | 第108-109页 |
| ·机电耦合系数 | 第109-110页 |
| ·声波特性随传播方向的变化 | 第110-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-115页 |
| 第七章 总结与展望 | 第115-117页 |
| 博士学位期间完成的论文 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |
