| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第12-13页 |
| ·微铣刀及其发展 | 第13-20页 |
| ·微铣刀的要求 | 第13-14页 |
| ·微铣刀的材料 | 第14-15页 |
| ·微铣刀的发展现状 | 第15-17页 |
| ·微铣刀的制造技术 | 第17-20页 |
| ·CVD 金刚石 | 第20-22页 |
| ·CVD 金刚石技术简介 | 第20-21页 |
| ·CVD 金刚石在刀具的应用 | 第21-22页 |
| ·课题研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 微铣刀的力学特性分析 | 第23-36页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·模型建立 | 第23-27页 |
| ·简介 | 第23-24页 |
| ·有限元模型建立及导入 | 第24-26页 |
| ·边界设置及网格划分 | 第26-27页 |
| ·模态分析 | 第27-29页 |
| ·求解设置 | 第27页 |
| ·分析结果及讨论 | 第27-29页 |
| ·应力应变分析 | 第29-35页 |
| ·求解设置 | 第29-30页 |
| ·分析结果及讨论 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 CVD 金刚石微铣刀头的制备研究 | 第36-56页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·微模具的制备 | 第36-44页 |
| ·微模具材料的选择 | 第36-38页 |
| ·ICP 刻蚀工艺技术简介 | 第38-39页 |
| ·实验方案与参数选择 | 第39-41页 |
| ·实验结果及讨论 | 第41-44页 |
| ·CVD 金刚石微铣刀头的图形化法制备 | 第44-55页 |
| ·实验方案 | 第44-45页 |
| ·实验流程 | 第45-51页 |
| ·实验结果与讨论 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 包含微铣刀头的 CVD 金刚石膜的钎焊研究 | 第56-65页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·CVD 金刚石的钎焊机理 | 第56-58页 |
| ·金刚石的钎焊性 | 第56-57页 |
| ·CVD 金刚石的钎焊方法 | 第57-58页 |
| ·CVD 金刚石的钎料选择 | 第58-59页 |
| ·钎料与母材间润湿性的影响因素 | 第58-59页 |
| ·钎料的选择 | 第59页 |
| ·CVD 金刚石的钎焊实验 | 第59-64页 |
| ·带焊复合体的制备 | 第60页 |
| ·加热及冷却控制 | 第60-61页 |
| ·实验设备 | 第61-62页 |
| ·实验结果及讨论 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第73页 |