基于亚微米工具电极的微细电解加工试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·微细加工技术的研究状况 | 第13-19页 |
| ·硅加工技术 | 第13-14页 |
| ·LIGA 技术与准 LIGA 技术 | 第14-16页 |
| ·微细高能束流加工 | 第16-17页 |
| ·微细机械切削加工技术 | 第17-18页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第18-19页 |
| ·微细电化学加工技术的研究 | 第19-23页 |
| ·微细电铸技术 | 第19-20页 |
| ·EFAB 加工技术 | 第20页 |
| ·掩膜微细电解加工技术 | 第20-21页 |
| ·电液流微细电解加工技术 | 第21-22页 |
| ·超短脉冲微细电解加工技术 | 第22-23页 |
| ·课题来源、研究意义以及本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第23-24页 |
| ·本文研究主要内容 | 第24-25页 |
| 第二章 微细电解加工理论 | 第25-32页 |
| ·电解加工原理和特点 | 第25-26页 |
| ·微细电解加工特点 | 第26页 |
| ·纳秒脉冲微细电解加工原理 | 第26-31页 |
| ·电极反应过程 | 第26-27页 |
| ·电化学极化方程 | 第27-28页 |
| ·电极暂态过程的电极电位 | 第28-29页 |
| ·纳秒脉冲实现微细电解加工的机理 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 微细电解加工系统 | 第32-42页 |
| ·微细电解加工系统的总体组成 | 第32-34页 |
| ·伺服进给系统 | 第34页 |
| ·控制系统 | 第34-35页 |
| ·电极系统 | 第35-36页 |
| ·电解液系统 | 第36页 |
| ·对刀检测系统 | 第36-41页 |
| ·对刀检测过程 | 第37-38页 |
| ·视觉辅助装置 | 第38-39页 |
| ·瞬态电流检测装置 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 亚微米工具电极制作 | 第42-51页 |
| ·电化学赴腐蚀制备亚微米工具电极原理 | 第42页 |
| ·液膜法制备工具电极 | 第42-44页 |
| ·浸没法制备亚微米工具电极 | 第44-50页 |
| ·浸没法制备亚微米工具电极原理 | 第44-45页 |
| ·浸没法制备亚微米工具电极试验 | 第45-50页 |
| ·亚微米工具电极制备实例 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 亚微米工具电极的对刀实验研究 | 第51-67页 |
| ·传统对刀方法下的亚微米工具电极对刀 | 第51-54页 |
| ·传统对刀方法原理 | 第51-52页 |
| ·传统对刀方法下的亚微米工具电极对刀试验 | 第52-54页 |
| ·亚微米工具电极在传统对刀方法下存在的问题分析 | 第54-57页 |
| ·亚微米工具电极前端的电火花放电致损分析 | 第54-55页 |
| ·亚微米工具电极前端的弯曲变形分析 | 第55-57页 |
| ·基于瞬态电流检测的对刀原理 | 第57-63页 |
| ·亚微米工具电极的微细电解加工试验 | 第63-66页 |
| ·对刀进给速度对亚微米工具电极对刀结果的影响 | 第63-65页 |
| ·亚微米工具电极的微细电解加工实验 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结展望 | 第67-68页 |
| ·论文研究工作总结 | 第67页 |
| ·对未来工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表（录用）论文情况 | 第72页 |
