| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外发展现状与趋势 | 第8-10页 |
| ·发展现状 | 第8-10页 |
| ·发展趋势 | 第10页 |
| ·本文主要内容 | 第10-11页 |
| ·文章结构安排 | 第11-13页 |
| 2 差动电容式加速度传感器工作原理及制作 | 第13-21页 |
| ·变间隙式差动电容敏感结构工作原理 | 第13-16页 |
| ·加速度传感器等效力学模型 | 第16-18页 |
| ·差动电容式加速度传感器的制作 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 3 差动电容式加速度传感器测量电路的设计 | 第21-38页 |
| ·常见的几种微小电容测试方法 | 第21-23页 |
| ·基本张弛振荡测量电路的工作原理 | 第23-25页 |
| ·张弛振荡测量电路的改进及误差优化方案 | 第25-33页 |
| ·时间周期提取电路的设计方案 | 第31-33页 |
| ·测量电路的硬件实现 | 第33-37页 |
| ·张弛振荡电路主要硬件参数选取 | 第33-35页 |
| ·测量电路的整合及性能测试 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 DSP 数据采集软硬件设计 | 第38-49页 |
| ·DSP 数据采集系统的硬件实现 | 第38-42页 |
| ·DSP 数据采集系统的算法设计 | 第42-44页 |
| ·整体电路的性能测试 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 基于 LABVIEW 上位机数据接收的软件设计 | 第49-53页 |
| ·LABVIEW 简介 | 第49-50页 |
| ·串口配置 | 第50-51页 |
| ·串口数据的读取及显示 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 6 测量系统的标定及应用测试实验 | 第53-60页 |
| ·系统整体概况 | 第53页 |
| ·加速度测量系统的标定 | 第53-56页 |
| ·加速度测量系统实际应用测试 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 7 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·本文总结 | 第60页 |
| ·今后展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66-73页 |