| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-11页 |
| ·选题意义及背景 | 第9页 |
| ·论文主要工作和创新点 | 第9-10页 |
| ·内容安排 | 第10-11页 |
| 2 声表面波技术 | 第11-24页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·声表面波技术概述 | 第11-13页 |
| ·SAW 技术及其发展 | 第11-12页 |
| ·SAW 技术特点 | 第12-13页 |
| ·叉指换能器 | 第13-22页 |
| ·叉指换能器的结构和工作原理 | 第13-14页 |
| ·叉指换能器的特性 | 第14-18页 |
| ·叉指换能器的分析模型 | 第18-20页 |
| ·叉指换能器的加权以及二阶效应 | 第20-22页 |
| ·声表面波技术的相关应用 | 第22-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 3 微流控芯片中微流体的融合方法 | 第24-32页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·被动融合 | 第24-27页 |
| ·表面能量诱导微流体融合 | 第24-26页 |
| ·三角形通道的融合 | 第26-27页 |
| ·主动融合 | 第27-31页 |
| ·激光加热融合法 | 第27-29页 |
| ·电融合法 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 4 基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合器件结构、设计与制作 | 第32-53页 |
| ·声表面波作用微流体原理 | 第32-44页 |
| ·压电基片上 SAW 的传播 | 第32-39页 |
| ·声场驱动微流体的原理 | 第39-44页 |
| ·基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合器件结构、设计 | 第44-49页 |
| ·压电基片的选择 | 第45-47页 |
| ·叉指换能器的参数的设定 | 第47-48页 |
| ·声表面波器件版图设计 | 第48-49页 |
| ·基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合器件工艺 | 第49-52页 |
| ·融合器中叉指换能器制作工艺 | 第50-51页 |
| ·融合器 PDMS 微通道制作工艺 | 第51-52页 |
| ·本实验要用到的设备 | 第52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 5 基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合实验 | 第53-63页 |
| ·基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合实验的实验装置 | 第53页 |
| ·基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合实验 | 第53-56页 |
| ·基于 SAW 技术实现微通道内数字微流体的融合实验结果与讨论 | 第56-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 6 结论与展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 在学研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
