| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景与意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·论文主要工作 | 第13-14页 |
| 2 微动平台的数学模型建立 | 第14-31页 |
| ·基于改进 PI 模型的微动平台的迟滞模型 | 第14-22页 |
| ·PI 迟滞模型的描述 | 第14-16页 |
| ·PI 迟滞模型的改进 | 第16-17页 |
| ·微动平台迟滞模型的辨识 | 第17-22页 |
| ·微动平台的动力学模型 | 第22-30页 |
| ·微位移平台运动原理 | 第22-23页 |
| ·压电陶瓷执行器的电学传递函数 | 第23-25页 |
| ·压电陶瓷执行器的驱动力同驱动电压、输出位移的关系 | 第25-26页 |
| ·压电微动平台的机械传递函数 | 第26-28页 |
| ·压电微动平台固有频率的测试 | 第28-30页 |
| ·系统总的传递函数 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 基于 PI 模型的前馈控制 | 第31-38页 |
| ·基于改进 PI 模型的前馈控制器设计 | 第31-33页 |
| ·前馈控制方法的实验验证 | 第33-37页 |
| ·阶跃响应 | 第33-34页 |
| ·三角波跟踪 | 第34-36页 |
| ·任意波形跟踪 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 微动平台的 PID 的反馈控制 | 第38-47页 |
| ·PID 控制原理 | 第38-39页 |
| ·梯形积分与微分分离 PID 控制控制器设计 | 第39-41页 |
| ·PID 控制器的参数整定方法 | 第41-42页 |
| ·压电微位移平台 PID 控制的 MATLAB 仿真 | 第42-44页 |
| ·PID 反馈控制实验验证 | 第44-46页 |
| ·阶跃相应 | 第44页 |
| ·三角波跟踪 | 第44-45页 |
| ·任意波形跟踪 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 微动平台的复合控制 | 第47-51页 |
| ·基于前馈控制同反馈控制相结合的复合控制 | 第47-48页 |
| ·复合控制的实验研究 | 第48-50页 |
| ·阶跃相应 | 第48-49页 |
| ·三角波跟踪 | 第49-50页 |
| ·任意波形跟踪 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 6 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第51页 |
| ·进一步工作展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 在校期间研究成果 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |