SnO2薄膜气体传感器制备及其性能研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-17页 |
| ·气体传感器概述 | 第6-10页 |
| ·气体传感器的分类和工作原理 | 第7-9页 |
| ·气体传感器的应用 | 第9页 |
| ·气体传感器的发展趋势 | 第9-10页 |
| ·MEMS 气体传感器 | 第10-12页 |
| ·SnO_2 气体传感器 | 第12-16页 |
| ·SnO_2 的结构与性能 | 第12-13页 |
| ·SnO_2 传感器研究的进展及现状 | 第13-15页 |
| ·SnO_2 传感器发展趋势 | 第15-16页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 气体传感器的工艺流程设计和模拟 | 第17-22页 |
| ·气体传感器的结构 | 第17-18页 |
| ·IntelliSuite 模拟 | 第18-20页 |
| ·气体传感器的制备工艺流程 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 SnO_2薄膜的制备 | 第22-34页 |
| ·SnO_2 薄膜常用的制备方法 | 第22-24页 |
| ·物理气相沉积法(PVD) | 第24-28页 |
| ·溅射法原理 | 第25-26页 |
| ·磁控溅射技术 | 第26-27页 |
| ·溅射薄膜的形成理论 | 第27-28页 |
| ·实验过程 | 第28-29页 |
| ·磁控溅射系统 | 第28页 |
| ·二氧化锡薄膜的制备 | 第28-29页 |
| ·SnO_2 薄膜的表征 | 第29-33页 |
| ·不同氧偏压所引起的颜色差异 | 第29-30页 |
| ·薄膜的 XRD 分析 | 第30-32页 |
| ·薄膜的 AFM 图像分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 SnO_2气体传感器的敏感机理 | 第34-43页 |
| ·半导体气体传感器的工作原理 | 第34-36页 |
| ·SnO_2 的敏感机理 | 第36-42页 |
| ·SnO_2 表面的吸附原理 | 第36-39页 |
| ·SnO_2 传感器的微观结构和气敏机理 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 SnO_2气体传感器的特性测试 | 第43-49页 |
| ·测试系统 | 第43页 |
| ·SnO_2 气体传感器的特性测试与分析 | 第43-48页 |
| ·本章小节 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第59-60页 |
