| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-18页 |
| ·类金刚石薄膜结构和形态 | 第8-9页 |
| ·氟化类金刚石薄膜的性质和应用 | 第9-16页 |
| ·氟化类金刚石薄膜疏水性能以及应用 | 第9-13页 |
| ·氟化类金刚石电学性能、力学性能以及应用 | 第13-15页 |
| ·氟化类金刚石薄膜电学性能 | 第13-14页 |
| ·氟化类金刚石力学性能 | 第14-15页 |
| ·氟化类金刚石光学性能以及应用 | 第15-16页 |
| ·本论文研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 实验方法 | 第18-25页 |
| ·PECVD原理及装置 | 第18-21页 |
| ·原理简介 | 第18-19页 |
| ·PECVD特点 | 第19-21页 |
| ·实验装置介绍 | 第21页 |
| ·FDLC薄膜的PECVD制备过程 | 第21-23页 |
| ·源气体选取 | 第21-22页 |
| ·基片处理 | 第22页 |
| ·薄膜沉积 | 第22-23页 |
| ·薄膜的测试方法 | 第23-25页 |
| ·薄膜的结构表征 | 第23页 |
| ·薄膜的成分表征 | 第23-24页 |
| ·薄膜的性能表征 | 第24-25页 |
| 第三章 氟化类金刚石薄膜疏水、疏油性能的研究 | 第25-44页 |
| ·FDLC薄膜样品制备 | 第25页 |
| ·薄膜结构表征 | 第25-26页 |
| ·接触角的测量 | 第26-38页 |
| ·接触角随流量比变化的分析 | 第26-31页 |
| ·接触角随沉积功率变化的分析 | 第31-33页 |
| ·接触角随沉积温度变化的分析 | 第33-35页 |
| ·接触角随退火温度变化的分析 | 第35-38页 |
| ·疏水性能的直观研究 | 第38-40页 |
| ·工艺参数对脱脂棉吸水质量的影响 | 第38-40页 |
| ·掺氟前后脱脂棉吸水质量对比 | 第40页 |
| ·掺氟对FDLC薄膜在不同pH值溶液下稳定性的影响 | 第40-42页 |
| ·FDLC薄膜疏油性能的研究 | 第42-43页 |
| ·本章小节 | 第43-44页 |
| 第四章 氟化类金刚石电学、力学性能研究 | 第44-50页 |
| ·FDLC薄膜电学性能 | 第44-47页 |
| ·气流比对薄膜绝缘电阻的影响 | 第44-46页 |
| ·沉积功率对薄膜绝缘电阻的影响 | 第46页 |
| ·沉积温度对薄膜绝缘电阻的影响 | 第46-47页 |
| ·FDLC薄膜力学性能研究 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 氟化类金刚石薄膜光学性能的研究 | 第50-61页 |
| ·FDLC薄膜光学性能 | 第50-52页 |
| ·气流比对FDLC薄膜光学性能的影响 | 第50-51页 |
| ·沉积温度对FDLC薄膜光学性能的影响 | 第51-52页 |
| ·沉积功率对FDLC薄膜光学性能的影响 | 第52页 |
| ·氟化类金刚石光学多层膜的研究以及应用 | 第52-59页 |
| ·实验方法 | 第53页 |
| ·软件介绍 | 第53-55页 |
| ·实验数据与计算机模拟数据比较 | 第55-59页 |
| ·各层薄膜厚度对薄膜透过率的影响 | 第55-59页 |
| ·各层薄膜厚度对薄膜电气指数的影响 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第六章 总结 | 第61-63页 |
| ·本文主要完成的工作 | 第61页 |
| ·本文主要结论 | 第61-62页 |
| ·有待进一步完善的工作 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第68页 |