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霍尔相位传感器组件及相关关键技术研究

中文摘要第1-3页
英文摘要第3-8页
第一章 引言第8-10页
第二章 文献综述第10-33页
 §2.1 霍尔效应的基本原理第10-13页
 §2.2 高性能霍尔元件的研究和进展第13-16页
 §2.3 非平面霍尔元件的研究和进展第16-19页
 §2.4 霍尔集成电路的研究和进展第19-27页
 §2.5 未来的发展第27-29页
 参考文献第29-33页
第三章 霍尔元件设计与制作第33-56页
 §3.1 霍尔元件的优化设计第33-51页
  §3.1.1 矩形霍尔元件第34-35页
  §3.1.2 具有90°旋转对称的霍尔元件第35-51页
   §3.1.2.1 单位圆霍尔元件第35-46页
   §3.1.2.2 实际的具有90°旋转对称的霍尔元件第46-51页
 §3.2 霍尔元件的制作与测试第51-54页
 §3.3 本章小结第54-55页
 参考文献第55-56页
第四章 霍尔开关集成电路的研制第56-82页
 §4.1 霍尔开关集成电路分析及仿真第56-71页
  §4.1.1 霍尔开关集成电路的结构第56-57页
  §4.1.2 稳压电路部分第57-61页
  §4.1.3 放大电路与触发电路部分第61-69页
   §4.1.3.1 通常的电路形式第61-63页
   §4.1.3.2 2AV77C中采用的电路第63-69页
  §4.1.4 设计版图第69-71页
 §4.2 GaAs霍尔开关集成电路的研制第71-79页
  §4.2.1 霍尔元件和耗尽MESFET的性能第72-73页
  §4.2.2 电路的设计与仿真第73-75页
  §4.2.3 版图设计第75-76页
  §4.2.4 制作工艺和性能测试第76-79页
 §4.3 本章小结第79-81页
 参考文献第81-82页
第五章 霍尔相位传感器组件的研制第82-103页
 §5.1 霍尔相位传感器组件的结构和工作原理第82-84页
 §5.2 永磁材料性能比较第84-86页
 §5.3 磁路设计初步分析第86-90页
  §5.3.1 磁路理论第86-88页
  §5.3.2 霍尔相位传感器组件中永磁体材料的确定第88-89页
  §5.3.3 叶片运动与磁场的关系第89-90页
 §5.4 磁路仿真与设计第90-100页
  §5.4.1 仿真方法的建立第90-91页
  §5.4.2 仿真方法的验证第91-94页
   §5.4.2.1 2AV系列霍尔相位传感器组件的静态仿真第91-93页
   §5.4.2.2 2AV系列霍尔相位传感器组件的动态仿真第93-94页
  §5.4.3 新型高精度Sm_2Co_(17)霍尔相位传感器组件的设计与研制第94-100页
   §5.4.3.1 模型设计与仿真第95-96页
   §5.4.3.2 Sm_2Co_(17)霍尔相位传感器组件样品研制第96-98页
   §5.4.3.3 工艺误差分析第98页
   §5.4.3.4 工作点位置的检测设备第98-99页
   §5.4.3.5 设计中的匹配问题第99-100页
 §5.5 本章小结第100-102页
 参考文献第102-103页
第六章 结论第103-105页
附录A第105-107页
附录B第107-108页
致谢第108页

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