新型IGBT器件的设计与建模
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·本课题的主要内容及意义 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第二章 IGBT器件的结构及工作原理 | 第14-27页 |
| ·IGBT的结构及分类 | 第14-19页 |
| ·IGBT的工作原理 | 第19-20页 |
| ·IGBT的特性分析 | 第20-24页 |
| ·IGBT的静态特性 | 第21-22页 |
| ·IGBT的动态特性 | 第22-24页 |
| ·IGBT的闩锁效应和安全工作区 | 第24-26页 |
| ·闩锁效应 | 第24-25页 |
| ·安全工作区 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 器件物理模型和工艺仿真技术 | 第27-47页 |
| ·半导体器件模拟概述 | 第27-29页 |
| ·半导体器件物理模型 | 第29-35页 |
| ·半导体基本方程 | 第29-30页 |
| ·器件参数的物理模型 | 第30-34页 |
| ·器件模型的网格 | 第34页 |
| ·数值技术 | 第34-35页 |
| ·器件工艺仿真模型 | 第35-38页 |
| ·SILVACO仿真工具 | 第38-46页 |
| ·Athena系统简介 | 第39页 |
| ·Atlas系统简介 | 第39-40页 |
| ·实例仿真 | 第40-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 新型IGBT器件的设计及特性分析 | 第47-67页 |
| ·新型器件的研究背景 | 第47-48页 |
| ·CSTBT简介 | 第48-49页 |
| ·FH-TIGBT的结构设计 | 第49-50页 |
| ·FH-TIGBT的仿真 | 第50-66页 |
| ·仿真简介 | 第50-51页 |
| ·FH-TIGBT的工艺仿真 | 第51-56页 |
| ·FH-TIGBT的器件仿真 | 第56-63页 |
| ·FH-TIGBT的参数优化 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 FH-TIGBT的等效电路模型 | 第67-79页 |
| ·IGBT的模型简介 | 第67页 |
| ·IGBT的等效电路模型 | 第67-68页 |
| ·FH-TIGBT的参数提取 | 第68-76页 |
| ·MOS部分的参数提取 | 第68-74页 |
| ·BJT部分的参数提取 | 第74-75页 |
| ·受控电阻的确定 | 第75-76页 |
| ·FH-TIGBT模型的特性模拟 | 第76-78页 |
| ·静态特性的模拟 | 第76-78页 |
| ·动态特性的模拟 | 第78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 设计总结与展望 | 第79-81页 |
| 1.设计总结 | 第79页 |
| 2.展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 论文发表情况 | 第85页 |
