差分电容式微加速度传感器稳定性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·微机械加速度计概述 | 第9-18页 |
| ·微加速度传感器的应用 | 第9页 |
| ·加速度传感器的分类 | 第9-11页 |
| ·微机械加速度传感器发展状况 | 第11-17页 |
| ·微加速度传感器的发展趋势 | 第17-18页 |
| ·课题研究目的与意义 | 第18页 |
| ·课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 电容式加速度传感器稳定性分析 | 第19-31页 |
| ·加速度传感器的数学模型 | 第19-22页 |
| ·稳态响应 | 第20页 |
| ·频率响应 | 第20-22页 |
| ·电容式加速度计开环检测原理 | 第22-25页 |
| ·加速度传感器电容检测原理 | 第22-24页 |
| ·加速度传感器的电学原理 | 第24-25页 |
| ·加速度传感器闭环检测原理 | 第25-26页 |
| ·电容式加速度传感器稳定性分析 | 第26-30页 |
| ·阻尼特性分析 | 第26-27页 |
| ·加速度传感器支撑梁设计 | 第27-28页 |
| ·静电力负刚度 | 第28-29页 |
| ·结构加工误差 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 基于PID 控制的闭环系统建模与仿真 | 第31-42页 |
| ·系统检测原理 | 第31-32页 |
| ·系统数学模型 | 第32-36页 |
| ·敏感元件模型 | 第32页 |
| ·位移信号检测模型 | 第32-34页 |
| ·PID 控制器模型 | 第34页 |
| ·静电力反馈模型 | 第34-35页 |
| ·闭环系统模型 | 第35-36页 |
| ·系统响应分析 | 第36-39页 |
| ·系统正弦响应分析 | 第36-37页 |
| ·系统频域响应分析 | 第37-38页 |
| ·系统阶跃响应分析 | 第38-39页 |
| ·系统电学模型 | 第39-41页 |
| ·传感器力学特性的等效电学模型 | 第39-40页 |
| ·差动电容的等效电学模型 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 高稳定加速度计结构设计与仿真 | 第42-55页 |
| ·加速度传感器结构设计和优化 | 第42-44页 |
| ·加速度传感器结构设计 | 第42-43页 |
| ·加速度传感器结构参数优化 | 第43-44页 |
| ·加速度传感器结构分析 | 第44-49页 |
| ·静态分析 | 第45-47页 |
| ·模态分析 | 第47-48页 |
| ·机械稳定性分析 | 第48-49页 |
| ·加速度传感器电学系统仿真分析 | 第49-54页 |
| ·闭环加速度计系统响应 | 第49-51页 |
| ·闭环加速度系统稳定性研究 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
