| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第13-14页 |
| ·国内外关于精密定位平台的研究现状 | 第14-22页 |
| ·大行程高精度定位平台的研究现状 | 第14-16页 |
| ·两级驱动精密定位平台的驱动技术 | 第16-20页 |
| ·位移测量技术的研究现状 | 第20-22页 |
| ·大行程高精度定位平台的关键技术 | 第22页 |
| ·论文主要研究内容 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-27页 |
| 第二章 超磁致伸缩致动器的动态磁滞模型研究 | 第27-45页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·超磁致伸缩致动器的结构与工作原理 | 第27-30页 |
| ·超磁致伸缩致动器的准静态(静态)Jiles-Atherton磁滞模型 | 第30-32页 |
| ·超磁致伸缩致动器的动态Jiles-Atherton磁滞模型 | 第32-39页 |
| ·涡流损耗的表现形式 | 第32-34页 |
| ·涡流阻抗的估算 | 第34-39页 |
| ·超磁致伸缩致动器动态Jiles-Atherton磁滞模型的数值求解 | 第39-40页 |
| ·超磁致伸缩致动器动态模型仿真与实验研究 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 位移测量信号的在线滤波方法研究 | 第45-61页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·基于超磁致伸缩致动器驱动的微驱动平台动力学模型 | 第45-49页 |
| ·一阶有限差分及强跟踪滤波基本理论 | 第49-52页 |
| ·基于一阶有限差分及强跟踪滤波的扩展卡尔曼-布斯滤波 | 第52-54页 |
| ·基于扩展卡尔曼-布斯滤波的位移测量信号滤波仿真分析 | 第54-56页 |
| ·基于扩展卡尔曼-布斯滤波的位移测量信号滤波实验研究 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 基于磁滞逆补偿的超磁致伸缩致动器自适应控制方法研究 | 第61-85页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·Jiles-Atherton磁滞全逆模型的数值求解及仿真 | 第62-66页 |
| ·准静态(静态)磁滞全逆模型的数值求解及仿真 | 第62-65页 |
| ·动态磁滞全逆模型的数值求解及仿真 | 第65-66页 |
| ·基于磁滞逆补偿的超磁致伸缩致动器自适应控制 | 第66-76页 |
| ·基于磁滞逆补偿的自适应控制方法 | 第66-72页 |
| ·多种自适应控制方法的仿真分析 | 第72-76页 |
| ·基于磁滞逆补偿的超磁致伸缩致动器多模自适应控制 | 第76-77页 |
| ·多模自适应控制系统的基本构成与工作原理 | 第76页 |
| ·控制模式切换条件 | 第76-77页 |
| ·基于磁滞逆补偿的超磁致伸缩致动器控制实验研究 | 第77-84页 |
| ·超磁致伸缩致动器的磁滞逆补偿实验 | 第77-78页 |
| ·多种自适应控制方法的实验研究 | 第78-83页 |
| ·基于磁滞逆补偿的超磁致伸缩致动器多模自适应控制实验 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第五章 基于平面电容传感器的二维位移直接解祸测量方法研究 | 第85-99页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·基于平面电容传感器的二维位移直接解耦测量原理 | 第85-89页 |
| ·二维位移直接解耦测量原理 | 第86-88页 |
| ·辨向功能扩展 | 第88-89页 |
| ·平面电容传感器电容量的计算 | 第89-93页 |
| ·平面电容传感器灵敏度的计算 | 第93-96页 |
| ·平面电容传感器结构参数设计 | 第96-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第六章 基于平面电容传感器的二维位移直接解耦测量系统研制 | 第99-109页 |
| ·引言 | 第99页 |
| ·信号检测与调理 | 第99-103页 |
| ·辨向与位移测量 | 第103-107页 |
| ·运动辨向 | 第104-105页 |
| ·1/4周期计数 | 第105-106页 |
| ·相位细分 | 第106-107页 |
| ·位移量整合计算 | 第107页 |
| ·抗干扰技术 | 第107-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 第七章 宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台实验研究 | 第109-123页 |
| ·引言 | 第109页 |
| ·定位平台的构建 | 第109-110页 |
| ·定位平台的重复定位精度与定位精度实验研究 | 第110-112页 |
| ·宏定位系统实验研究 | 第110-111页 |
| ·微定位系统实验研究 | 第111-112页 |
| ·宏/微两级驱动定位系统实验研究 | 第112页 |
| ·二维位移直接解耦测量系统测试平台的构建 | 第112-113页 |
| ·二维位移直接解耦测量系统实验研究 | 第113-119页 |
| ·直接解耦测量原理的验证 | 第113-114页 |
| ·检测电路的零漂测量 | 第114-115页 |
| ·线性度测量 | 第115-116页 |
| ·分辨率和灵敏度测量 | 第116-118页 |
| ·重复精度的测量 | 第118-119页 |
| ·影响平台性能的主要因素分析 | 第119-121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 第八章 结论与展望 | 第123-127页 |
| ·结论 | 第123-124页 |
| ·研究展望 | 第124-127页 |
| 作者攻读博士学位期间发表的学术论文、获得的科研成果、参加的科研项目 | 第127-129页 |
| 发表的学术论文 | 第127页 |
| 获授权(申请)专利 | 第127-128页 |
| 参加的科研项目 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-136页 |
