变栅距光栅位移传感器的若干问题研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·研究背景 | 第11-13页 |
| ·光学位移传感器的发展 | 第11-12页 |
| ·课题的选取背景 | 第12-13页 |
| ·传感器的工作原理和研究基础 | 第13-16页 |
| ·研究基础 | 第13-15页 |
| ·传感器工作原理 | 第15-16页 |
| ·位移传感器的特性 | 第16-17页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第17-18页 |
| ·选题及研究意义 | 第17页 |
| ·课题的研究内容 | 第17-18页 |
| ·论文的结构安排 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 变栅距光栅位移传感器的光学系统分析 | 第19-44页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·变栅距光栅位移传感器的系统结构 | 第19-21页 |
| ·变栅距光栅的分辨率 | 第21-31页 |
| ·等间距光栅的分辨率 | 第21-22页 |
| ·变栅距光栅的成像理论 | 第22-26页 |
| ·变栅距光栅的衍射特点 | 第26-31页 |
| ·光路系统的优化 | 第31-34页 |
| ·入射光纤和接收光纤的分析 | 第34-37页 |
| ·入射光纤 | 第34-36页 |
| ·接收光纤 | 第36-37页 |
| ·光纤光谱仪分析 | 第37-42页 |
| ·传感器设计总结 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 变栅距光栅线位移传感器系统的工程化研究 | 第44-77页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·传感器设计 | 第44-46页 |
| ·传感器的设计方案 | 第44-45页 |
| ·100mm变栅距光栅传感器样机 | 第45-46页 |
| ·传感器的系统研究 | 第46-56页 |
| ·系统误差分析 | 第46-52页 |
| ·减小或消除误差的方法 | 第52-56页 |
| ·静态检测实验 | 第56-67页 |
| ·静态检测实验 | 第56-60页 |
| ·实验数据分析 | 第60-67页 |
| ·高低温实验 | 第67-70页 |
| ·原理样机实验 | 第67-68页 |
| ·解决方案 | 第68页 |
| ·工程件的改进 | 第68-70页 |
| ·振动测试 | 第70-72页 |
| ·台架实验 | 第72-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第四章 角度传感器的研究和柱面变栅距光栅的制作 | 第77-90页 |
| ·引言 | 第77-78页 |
| ·变栅距光栅角度传感器的原理 | 第78-79页 |
| ·光学系统结构设计 | 第79-83页 |
| ·柱面光栅的像差分析 | 第79-81页 |
| ·光纤尺寸的选择 | 第81-82页 |
| ·光纤结构优化 | 第82-83页 |
| ·柱面变栅距光栅的制作方法 | 第83-89页 |
| ·全息法制作变栅距光栅掩模 | 第83-85页 |
| ·柱面变栅距光栅的制作方法 | 第85-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第五章 论文的工作总结与展望 | 第90-92页 |
| ·论文完成的工作 | 第90-91页 |
| ·论文下一步工作展望 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文及其他研究成果 | 第97-98页 |
