| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·晶体生长炉的发展概况 | 第10-12页 |
| ·晶体生长炉机理建模发展概况 | 第12-13页 |
| ·晶体生长炉温度控制系统发展概况 | 第13-14页 |
| ·本文的研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 三温区空间晶体生长炉 | 第15-18页 |
| ·背景介绍 | 第15页 |
| ·三温区空间晶体生长炉结构和特点 | 第15-16页 |
| ·三温区空间晶体生长炉炉温控制系统 | 第16-17页 |
| ·三温区空间晶体生长炉控温指标 | 第17-18页 |
| 第3章 三温区空间晶体生长炉机理建模 | 第18-37页 |
| ·建模方法综述 | 第18-19页 |
| ·传热学基本原理 | 第19-22页 |
| ·三温区空间晶体生长炉机理模型 | 第22-37页 |
| ·模型假定 | 第22-23页 |
| ·模型描述 | 第23-26页 |
| ·模型简化 | 第26-28页 |
| ·数值方法 | 第28-31页 |
| ·数值求解 | 第31-32页 |
| ·数值解分析 | 第32-37页 |
| 第4章 三温区空间晶体生长炉温度控制 | 第37-52页 |
| ·实验建模 | 第38-40页 |
| ·模型结构推导 | 第38-40页 |
| ·系统辨识 | 第40页 |
| ·PID参数整定 | 第40-44页 |
| ·当前PID参数自整定方法概述 | 第40-41页 |
| ·Hooke-Jeeves模式搜索法 | 第41-42页 |
| ·PID控制器参数整定 | 第42-44页 |
| ·前馈控制器设计 | 第44-45页 |
| ·控制仿真 | 第45-48页 |
| ·PID控制 | 第45-46页 |
| ·一次电源消除情况 | 第46-48页 |
| ·控制实验结果 | 第48-52页 |
| 第5章 预测控制的改进及其在晶体生长炉中的应用研究 | 第52-66页 |
| ·预测控制的发展概述 | 第52-53页 |
| ·解耦预测控制 | 第53-56页 |
| ·增益补偿 | 第56-57页 |
| ·基于增益补偿的解耦预测控制仿真验证 | 第57-59页 |
| ·广义预测控制的鲁棒性改进 | 第59-63页 |
| ·改进算法描述 | 第59-62页 |
| ·失配滤波器的设计方法 | 第62-63页 |
| ·仿真验证 | 第63页 |
| ·基于机理模型的控制仿真 | 第63-66页 |
| ·模型描述及工程限制 | 第63-64页 |
| ·仿真结果 | 第64-66页 |
| 第6章 结论与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第72页 |