多层微悬臂梁弹性常数的计算方法的研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 绪论	第8-27页
·引言	第8-9页
·微悬臂梁概述	第9-16页
·微悬臂梁的结构形式	第10-11页
·微悬臂梁的工作模式	第11-13页
·微悬臂梁应用的现状	第13-16页
·微悬臂梁弹性常数测量现状	第16-25页
·微悬臂梁弹性常数测量方法——静态法	第16-19页
·微悬臂梁弹性常数测量方法——动态法	第19-25页
·本课题的意义和主要工作	第25-27页
第二章 微悬臂梁弹性常数理论分析	第27-37页
·单层材料微悬臂梁弹性模型及弹性常数计算	第27-30页
·多层复合微悬臂梁弹性模型及弹性常数计算	第30-37页
·微悬臂梁振动模型	第30-33页
·弹性常数k的理论计算	第33-37页
第三章 微悬臂梁弹性结构的有限元仿真分析	第37-52页
·有限元法理论	第37-42页
·有限单元法的基本原理和基本思路	第37-39页
·有限元分析流程	第39-41页
·ANSYS有限元分析	第41页
·流固耦合	第41-42页
·微悬臂梁结构的仿真建模及分析	第42-46页
·多层微悬臂梁结构弹性常数与几何参数的关系	第46-52页
第四章 弹性常数测量实验及结果分析	第52-62页
·实验材料制备	第52-53页
·AFM频率测量法	第53-57页
·微悬臂梁谐振频率测量	第53-55页
·微悬臂梁弹性常数数值计算	第55-56页
·实验结果分析	第56-57页
·力-曲线方法标定弹性常数	第57-59页
·力-曲线方法测量	第57-58页
·实验结果分析	第58-59页
·误差来源及影响	第59-62页
第五章 总结与展望	第62-64页
·总结	第62-63页
·工作展望	第63-64页
参考文献	第64-67页
硕士期间参加科研情况说明	第67-68页
致谢	第68页