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硬质膜层应力演化规律及失效机制研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-8页
1 引言第12-13页
2 绪论第13-45页
    2.1 硬质膜层材料概述第13-28页
        2.1.1 硬质膜层的概念第13页
        2.1.2 硬质膜层的分类第13-14页
        2.1.3 硬质膜层的制备第14-22页
        2.1.4 硬质膜层的生长第22-28页
    2.2 硬质膜层应力研究第28-36页
        2.2.1 膜层应力起源第28-30页
        2.2.2 膜层应力表征第30-35页
        2.2.3 研究现状小结第35-36页
    2.3 硬质膜层失效研究第36-43页
        2.3.1 内应力所致失效第37-39页
        2.3.2 热应力所致失效第39-40页
        2.3.3 外应力所致失效第40-43页
        2.3.4 研究现状小结第43页
    2.4 本论文研究内容第43-45页
3 硬质膜层应力状态转变效应及机理研究第45-60页
    3.1 引言第45-47页
    3.2 实验方法与过程第47-51页
        3.2.1 薄膜制备第47-48页
        3.2.2 薄膜表征第48-49页
        3.2.3 薄膜应力分析第49-51页
    3.3 实验结果及讨论第51-59页
        3.3.1 薄膜微观形貌第51-52页
        3.3.2 薄膜晶体结构第52-54页
        3.3.3 薄膜力学性能第54-55页
        3.3.4 薄膜应力状态转变第55-59页
    3.4 本章小结第59-60页
4 硬质膜层开裂与应力梯度原位演化研究第60-78页
    4.1 引言第60-62页
    4.2 实验方法与理论基础第62-65页
        4.2.1 薄膜制备第62页
        4.2.2 薄膜结构与性能表征第62-63页
        4.2.3 薄膜应力梯度原位演化第63-65页
        4.2.4 薄膜生长热力学模拟法第65页
        4.2.5 薄膜断裂韧性无损评价第65页
    4.3 实验结果及讨论第65-76页
        4.3.1 薄膜微观形貌第65-66页
        4.3.2 薄膜晶体结构第66页
        4.3.3 薄膜力学性能第66-67页
        4.3.4 薄膜应力梯度原位演化第67-69页
        4.3.5 薄膜开裂与裂纹萌生区第69-70页
        4.3.6 薄膜择优取向转变过程第70-72页
        4.3.7 薄膜生长的热力学模拟第72-74页
        4.3.8 薄膜断裂韧性无损评价第74-76页
    4.4 本章小结第76-78页
5 硬质膜层应力与结构对服役性能的影响第78-92页
    5.1 引言第78-79页
    5.2 实验方法与过程第79-80页
        5.2.1 薄膜样品制备第79-80页
        5.2.2 薄膜表征方法第80页
    5.3 实验结果及讨论第80-90页
        5.3.1 薄膜晶体结构第80-82页
        5.3.2 薄膜残余应力第82-84页
        5.3.3 薄膜硬度与模量第84-85页
        5.3.4 薄膜表面粗糙度第85-86页
        5.3.5 薄膜表面电阻率第86-87页
        5.3.6 薄膜摩擦与磨损第87-90页
    5.4 本章小结第90-92页
6 硬质膜层内部裂纹三维显微CT初步研究第92-98页
    6.1 引言第92页
    6.2 实验过程第92-95页
        6.2.1 同步辐射与上海光源第92-93页
        6.2.2 膜层制备与实验方法第93-94页
        6.2.3 内部裂纹形貌表征方法第94-95页
    6.3 实验结果及讨论第95-97页
        6.3.1 实验前后样品形貌第95-96页
        6.3.2 3D重构与结果分析第96-97页
    6.4 本章小结第97-98页
7 结论第98-100页
研究展望第100-101页
创新点第101-102页
参考文献第102-115页
作者简历及在学研究成果第115-117页
学位论文数据集第117页

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