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阵列光栅空间共面原理和方法研究

中文摘要第3-4页
英文摘要第4-5页
1 绪论第8-15页
    1.1 课题研究的背景和意义第8-9页
    1.2 阵列光栅空间共面研究的发展与现状第9-14页
        1.2.1 国外的发展与现状第9-12页
        1.2.2 国内的发展与现状第12-14页
    1.3 论文的主要研究内容第14-15页
2 阵列光栅空间共面原理研究第15-23页
    2.1 阵列光栅拼接模型分析第15-19页
        2.1.1 阵列光栅拼接与空间共面的关系第15-16页
        2.1.2 阵列光栅共面位姿对输出激光脉冲的影响研究第16-19页
    2.2 阵列光栅空间共面模型研究第19-22页
        2.2.1 有界平面共面的数学模型第19-20页
        2.2.2 阵列光栅空间共面的数学模型第20-22页
    2.3 本章小结第22-23页
3 阵列光栅共面在位检测方法设计与分析第23-35页
    3.1 共面在位检测方法概述第23-24页
    3.2 阵列光栅共面在位检测方法设计第24-29页
        3.2.1 基准的选择与坐标系定义第24-25页
        3.2.2 测点的布局与配置第25页
        3.2.3 单块子光栅共面在位检测的数学模型第25-28页
        3.2.4 多块子光栅共面在位检测的数学模型第28-29页
    3.3 在位检测方法的误差分析第29-33页
        3.3.1 测量误差的构成第29-30页
        3.3.2 测量误差的传递第30-31页
        3.3.3 测量不确定性的抑制第31-33页
    3.4 本章小结第33-35页
4 阵列光栅共面驱动校正与控制技术研究第35-49页
    4.1 共面驱动校正方法设计第35-38页
        4.1.1 阵列光栅共面驱动校正方案第35-37页
        4.1.2 阵列光栅共面驱动校正的数学模型第37-38页
    4.2 共面驱动校正方法的误差分析第38-40页
    4.3 共面驱动校正方法的控制技术研究第40-48页
        4.3.1 共面驱动校正方法的闭环设计第41页
        4.3.2 共面驱动校正方法的控制算法研究第41-46页
        4.3.3 共面驱动校正方法的控制系统仿真第46-48页
    4.4 本章小结第48-49页
5 阵列光栅共面在位检测与驱动校正实验第49-58页
    5.1 实验系统组成第49-53页
    5.2 阵列光栅共面在位检测性能测试第53-55页
        5.2.1 实验原理第53-54页
        5.2.2 实验结果处理与分析第54-55页
    5.3 阵列光栅共面驱动校正性能测试第55-57页
    5.4 本章小结第57-58页
6 结论与展望第58-60页
    6.1 结论第58页
    6.2 展望第58-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-65页
附录 A. 作者在攻读研究生期间发表的论文目录第65页

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