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含硅量子点碳化硅薄膜的退火特性研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
目录第6-8页
1. 绪论第8-12页
    1.1 引言第8页
    1.2 国内外硅量子点研究的发展进程第8-11页
    1.3 本课题的研究目的与意义第11-12页
2. 硅量子点的基本理论与制备表征第12-26页
    2.1 量子点的特性与优势第12-13页
    2.2 硅量子点的制备方法第13-19页
    2.3 硅量子点的表征手段第19-26页
3. 硅量子点的制备第26-33页
    3.1 硅量子点母体基质的选择第26-28页
    3.2 富硅碳化硅薄膜的制备第28-30页
    3.3 高温退火处理第30-33页
4. 硅量子点的生长机制与发光特性分析第33-43页
    4.1 硅量子点的化学键分析第33-35页
    4.2 硅量子点的结晶状况分析第35-39页
    4.3 硅量子点的外观形貌第39-40页
    4.4 硅量子点的发光特性分析第40-43页
5. 总结与展望第43-45页
致谢第45-46页
参考文献第46-51页
附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文第51-52页
附录 2 攻读硕士学位期间申请的专利及获奖第52页

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