高陡度共形光学头罩子孔径拼接干涉测试方法研究
摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
第1章 绪论 | 第7-16页 |
1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第7-8页 |
1.2 子孔径拼接干涉检测的国内外发展现状 | 第8-11页 |
1.3 常用非球面的检测方法 | 第11-15页 |
1.3.1 面形轮廓法 | 第11页 |
1.3.2 无像差点法 | 第11-12页 |
1.3.3 零位补偿法 | 第12页 |
1.3.4 计算全息法 | 第12-13页 |
1.3.5 波带板法 | 第13页 |
1.3.6 子孔径拼接法 | 第13-15页 |
1.4 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
第2章 环形子孔径拼接干涉检测基本原理 | 第16-27页 |
2.1 非球面的基本概念 | 第16-19页 |
2.1.1 非球面及其分类 | 第16-19页 |
2.1.2 非球面检测技术 | 第19页 |
2.2 子孔径拼接检测方法分类 | 第19-20页 |
2.2.1 圆形子孔径拼接法 | 第19-20页 |
2.2.2 环形子孔径拼接法 | 第20页 |
2.3 非球面环形子孔径拼接检测方法原理 | 第20-23页 |
2.4 环形子孔径拼接算法原理 | 第23-26页 |
2.4.1 逐次拼接算法原理 | 第23-25页 |
2.4.2 综合优化拼接算法原理 | 第25-26页 |
2.5 本章小结 | 第26-27页 |
第3章 高陡度头罩环形子孔径划分及数据处理 | 第27-42页 |
3.1 高陡度头罩环形子孔径划分 | 第27-36页 |
3.1.1 划分方式的数学公式推导 | 第27-30页 |
3.1.2 各子孔径的选取及参数计算 | 第30-36页 |
3.2 非球面环形子孔径拼接前的数据处理 | 第36-41页 |
3.2.1 环形子孔径波面拟合预处理 | 第37-39页 |
3.2.2 子孔径定位变换预处理 | 第39-41页 |
3.3 本章小结 | 第41-42页 |
第4章 高陡度头罩环形子孔径检测算法研究 | 第42-63页 |
4.1 非球面环形子孔径的拼接 | 第42-50页 |
4.1.1 基于四步移相的条纹解调技术 | 第42-43页 |
4.1.2 环形子孔径调整误差及面形误差模拟 | 第43-49页 |
4.1.3 环形子孔径拼接及结果分析 | 第49-50页 |
4.2 不同拼接算法对拼接结果的影响 | 第50-59页 |
4.2.1 逐次拼接算法拼接结果数据 | 第50-56页 |
4.2.2 全局优化拼接算法拼接结果数据 | 第56-58页 |
4.2.3 拼接试验的误差分析 | 第58-59页 |
4.3 随机噪声对拼接试验的影响研究 | 第59-62页 |
4.4 本章小结 | 第62-63页 |
结论 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-67页 |
攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第67-69页 |
致谢 | 第69-70页 |