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高陡度共形光学头罩子孔径拼接干涉测试方法研究

摘要第3-4页
Abstract第4页
第1章 绪论第7-16页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第7-8页
    1.2 子孔径拼接干涉检测的国内外发展现状第8-11页
    1.3 常用非球面的检测方法第11-15页
        1.3.1 面形轮廓法第11页
        1.3.2 无像差点法第11-12页
        1.3.3 零位补偿法第12页
        1.3.4 计算全息法第12-13页
        1.3.5 波带板法第13页
        1.3.6 子孔径拼接法第13-15页
    1.4 本文主要研究内容第15-16页
第2章 环形子孔径拼接干涉检测基本原理第16-27页
    2.1 非球面的基本概念第16-19页
        2.1.1 非球面及其分类第16-19页
        2.1.2 非球面检测技术第19页
    2.2 子孔径拼接检测方法分类第19-20页
        2.2.1 圆形子孔径拼接法第19-20页
        2.2.2 环形子孔径拼接法第20页
    2.3 非球面环形子孔径拼接检测方法原理第20-23页
    2.4 环形子孔径拼接算法原理第23-26页
        2.4.1 逐次拼接算法原理第23-25页
        2.4.2 综合优化拼接算法原理第25-26页
    2.5 本章小结第26-27页
第3章 高陡度头罩环形子孔径划分及数据处理第27-42页
    3.1 高陡度头罩环形子孔径划分第27-36页
        3.1.1 划分方式的数学公式推导第27-30页
        3.1.2 各子孔径的选取及参数计算第30-36页
    3.2 非球面环形子孔径拼接前的数据处理第36-41页
        3.2.1 环形子孔径波面拟合预处理第37-39页
        3.2.2 子孔径定位变换预处理第39-41页
    3.3 本章小结第41-42页
第4章 高陡度头罩环形子孔径检测算法研究第42-63页
    4.1 非球面环形子孔径的拼接第42-50页
        4.1.1 基于四步移相的条纹解调技术第42-43页
        4.1.2 环形子孔径调整误差及面形误差模拟第43-49页
        4.1.3 环形子孔径拼接及结果分析第49-50页
    4.2 不同拼接算法对拼接结果的影响第50-59页
        4.2.1 逐次拼接算法拼接结果数据第50-56页
        4.2.2 全局优化拼接算法拼接结果数据第56-58页
        4.2.3 拼接试验的误差分析第58-59页
    4.3 随机噪声对拼接试验的影响研究第59-62页
    4.4 本章小结第62-63页
结论第63-64页
参考文献第64-67页
攻读学位期间发表的学术论文及其它成果第67-69页
致谢第69-70页

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